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旋片真空泵的结构和维修知识

气镇阀：旋片泵设计用于泵出可冷凝气体，由节流阀和止回阀组成。节流阀控制混合气体的量。当泵室内的气体压力高于混合气体压力时，止回阀防止回流。为了向泵中回油、喷油，改善泵的润滑条件，扩大泵的应用范围，旋转叶片泵还配有许多附件，如油雾捕集器、分子过滤器、尘粒过滤器、化学过滤器、滤油器等。

为了理解空气冷却的实质，先来看一下气体在罗茨真空泵排气一侧的流动情况，在罗茨真空泵中吸入气体被压缩的过程不是连续的，而是突然的。吸入气体随转子转动而被封闭于腔内，又随转子的旋转，使腔内的气体突然与排气口接通。由于排气一侧的气体压力较高，排气口处的气体就向腔中返冲，然后又随着转子的旋转而被驱赶排出泵外。这样的过程在每旋转一周中两个转子共进行四次排气过程。从上述气体的流动情况可以设想：假若每次返冲到泵腔中的气体是冷的，则可以在高温的泵腔内吸收大量的热量，这些吸收了热量的气体又在转子的继续压缩中排出，从而会达到转子冷却的目的。

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性能参数

通常扩散泵的性能是以极限真空、反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。1.极限真空如果对一般油扩散泵的结构进行改进，如减少油蒸气的返流，加分镏装置，合理分配加热功率，改进喷嘴角度设计，加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使扩散泵性能大大改善，极限真空可达到更低的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6Pa，起始压力正好是机械泵的极限压力，因此，油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵，将真空度抽到10^-1Pa后才能开始工作。