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旋片式真空泵
( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有结构紧凑,体积小,重量轻,噪音低,振动小等优点。所以,它适用于作扩散泵的前级泵,而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如:质谱仪器,冰箱流水线,真空冷冻干燥机等。
罗茨真空泵
( Roots Vacuum Pump )
是一种旋转式变容真空泵,须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内,有较大的抽速,对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵,需要用前级泵辅助。如:水环式真空泵,滑阀真空泵,立式无油真空泵,分子真空泵等。国内***大罗茨真空泵保持纪录为20000L/S。
真空泵的极限压强 | 泵的极限压强单位是Pa,是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向稳定的压强。 |
真空泵的抽气速率 | 泵的抽气速率单位是m3/s或l/s,是指泵装有标准试 验罩,并按规定条件工作时,从试验罩 流过的气体流量与在试验罩位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。 |
真空泵的抽气量 | 真空泵的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。 |
真空泵的起动压强 | 真空泵的起动压强单位为Pa,它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。 |
真空泵的前级压强 | 真空泵的前级压强 单位是Pa,它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。 |
真空泵的前级压强 | 真空泵口前级压强单位是Pa,它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。 |
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首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围,必须认真研究确定之。
在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度,因为系统的极限真空度决定了系统的工作真空度。一般来讲,系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%,比前级泵的极限真空度低50%。
检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应,泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。
检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
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