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旋片式真空泵
( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。
罗茨真空泵
( Roots Vacuum Pump )
是一种旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内，有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵，需要用前级泵辅助。如：水环式真空泵，滑阀真空泵，立式无油真空泵，分子真空泵等。国内***大罗茨真空泵保持纪录为20000L/S。
| 真空泵的工作压强 | 真空泵的工作压强单位是Pa，它是指对应抽气量 的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。 | ||||||
| 真空泵的压缩比 | 压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。 | ||||||
| 真空泵的何氏系数 | 泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。 | ||||||
| 真空泵的抽速系数 | 泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。 | ||||||
| 真空泵的返流率 | 泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。 | ||||||
| 水蒸气允许量 | 水蒸气 的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。 | ||||||
| 允许水蒸气入口压强 |
允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的入口压强。
真空的定义 真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态 真空度 处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。 真空度单位 通常用托（Torr）为单位，国际上取用帕（Pa）作为单位。 1托=1/760大气压=1毫米柱 托与帕的转换 1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托 平均自由程 作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
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