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| 真空泵的极限压强 | 泵的极限压强单位是Pa，是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的压强。 |
| 真空泵的抽气速率 | 泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试 验罩，并按规定条件工作时，从试验罩 流过的气体流量与在试验罩位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。 |
| 真空泵的抽气量 | 真空泵的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。 |
| 真空泵的起动压强 | 真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。 |
| 真空泵的前级压强 | 真空泵的前级压强 单位是Pa，它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。 |
| 真空泵的前级压强 | 真空泵口前级压强单位是Pa，它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。 |
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真空蒸镀
在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。
真空干燥
利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。
真空系统常用名称
①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
②前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
③粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
(1)电机功率大，工作电流大，发热量大。
(2)风扇转速低，风压，风量小。
(3)风扇叶片数较少，产生的风量小。
(4)电动机附有灰尘、油污，降低了散热能力。
(5)真空泵电机所在母线电压为380V，由于电缆压降及负荷分配不均，电机实际所加电压只有365V，电压偏低造成运行电流大。
对策
电机功率、转速是和真空泵相匹配的，不能更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加。
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