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因为分子泵对水蒸汽的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，因此分子泵的排气管時间比低温泵长。以便提升抽速，海外在分子泵的通道顶装一个-130℃~-150℃的低温冷轧钢板，称作低温分子泵，水蒸气被低温板，别的汽体则由分子泵吸走。有些旋片真空泵的使用者为了节约成本而使用普通的机油代替真空泵专用油的使用，其实这在一定程度上不仅增加了真空泵的使用、维修成本，还严重的影响了真空泵的使用寿命，本章主要讲述旋片式真空泵为什么要选用真空泵专用油。这类低温分子泵在真空电镀设备上运用，既提升了生产率又改进了膜层品质。

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3、直联(髙速)旋内置式真空泵(2XZ型)选用V46、V68粘度级别油品。

4、电液换向阀式真空泵(H型)选用V68、V100粘度级别油品。

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