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性能参数

通常扩散泵的性能是以极限真空、反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。1.极限真空如果对一般油扩散泵的结构进行改进，如减少油蒸气的返流，加分镏装置，合理分配加热功率，改进喷嘴角度设计，加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使扩散泵性能大大改善，极限真空可达到更低的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6Pa，起始压力正好是机械泵的极限压力，因此，油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵，将真空度抽到10^-1Pa后才能开始工作。

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2、疲劳破断

疲劳是一种失效机理，产生裂纹是一种失效模式。它们常常后导致零件的破断。这种疲劳破断失效过程一般都存在于受交变负荷的轮齿件中。常见于联接螺栓、地脚螺栓、弹簧等零件，也会发生齿轮传动轴等重要零件中。疲劳破断所牵涉的因素很多，需要针对失效零件作具体分析，找出原因采取对策。

3、变形

变形也是真空泵零件常见的一种失效模式。由于泵浦在高速运行时会产生一定的高温。诸如壳体、板件等常处于受热状态，易发生。逐步产生的塑性变形，不能***零部件原有的几何尺寸与形状，严重时将造成设备故障。如密封圈，油封等。

真空泵过滤器有三种，分别是真空泵排气过滤器、真空泵进气过滤器与真空泵油过滤器，【滤哥实业】告诉我们维护真空泵过滤器的方法有：

1.检查维护生产工况，虽然滤哥生产的过滤器耐腐蚀、耐酸、耐高温但是如果滤芯一直处于这样紧张的工作状态下的话，寿命就会短于工况较好的情况下的过滤器。

2.检查真空泵油的情况，定期查看油的颜色、味道，看油是否变质，如果油出现乳化就会导致过滤器堵塞，影响过滤器的使用。

3.安装进气过滤器，过滤掉空气中的杂质，避免泵腔堵塞或者杂质进入影响运行，安装进气过滤器有助于维护排气过滤器以及真空机组。