浅析直线模组速度和精密的优势
直线模组(Direct driver)是指电机与被驱动工件之间的直接刚性连接,没有螺杆、齿轮、减速器等中间环节。从而较大限度地避免传动螺杆系统中存在的反向间隙、惯性、摩擦和刚性不足的问题。因此,直接驱动马达的“速度”特征为“高”,通常的峰值速度达到5~10m/s,与此相对,现有的滚珠丝杠的速度一般被限制为1m/s,因此磨损量也高。如希思克直线模组模组的动子和电机定子中间无触碰磨擦,伺服电机能超过较高的瞬时速度;很大的伺服电机有能力做到3-5个,更小的伺服电机能够做到30-50g左右;一般 DDR多运用与高瞬时速度,DDL运用于高速运行和高瞬时速度。
在“精度”方面,采用直线模组驱动技术,大大降低了中间机械传动系统带来的误差。位置***采用高精度光缆检测,提高了系统精度,重复***精度可达1μm以下,满足超精密场合的应用。
由于直线模组在“速度”和“精度”方面的优势,它将是许多传统产业转型的良好选择。例如,邮政运输的邮政推拉系统以往使用旋转电机、链轮和带等中间转换机构来实现。 该系统结构复杂,噪音高,效率低。对与每条输送系统需要几千个直线模组来说,其市场和社会效益极高。同样,该运输系统能够推广至机械设备、食品类、药业、民用型等制造行业,具有宽阔的运用市场前景。
直线模组应用在半导体行业的优点
***常见的直线模组类型有平板直线电机、U形槽直线电机和圆柱直线电机。圆柱型直线电机即音圈电机。音圈电机具有构造简单、响应速度快、灵敏度高、随动性好、密封性能好、不怕污染、适应性强、运行稳定可靠、使用寿命长等优点。因此,这种直线模组广泛用于半导体涉及器件和其他发展领域。
引线连接器
与半导体制造装置有关的引线连接器的装置,一般都在Z轴机构和XY工作台机构上使用。Z轴机构是通过用金属线连接电极和引线框而相对于XY平台上的集成电路芯片上下移动的机构。
XY工作台机构是因为连接位置的改变而移动放置集成电路芯片电极和引线框架的工作台的机构。
有效减振器
为保证半导体涉及装置中的加工精度,对装置所存放地基的震动以及建在装置上的驱动设备产生的震动都要予以***。原先是用弹簧和流体进行被动的或主动的震动***,因为音圈直线模组的构造简单,响应性好等优势,并且对检测的振动能实现抵消作用的操作。这一有效减振器非常实用,由此而赢得积极的推广。
双轴十字平台
随着工业4.0的发展,音圈直线模组已成为半导体行业不可或缺的核心部件。 标准环形音圈电机的峰值推力达到5000N,行程达到300mm,摆动型音圈电机的峰值转矩达到50N.M,摆动角度超过120°。音圈直线模组将在许多领域赢得更多的应用,慢慢取代传统电机如齿条和螺杆。
直线模组选型的重要性
直线模组系统的结构与旋转电机系统的结构有所不同。旋转电机往往通过丝杠、皮带轮等转动部件转化为直线运动。而直线电机采用直接驱动技术,直线模组的性能起到了决定性的作用。直线模组用户往往对负载的运动有一系列的要求。这样就需要我们为客户选择一款合适的电机。如果选择不当,则可能达不到客户的要求,或者给客户造成成本不必要的上涨。并不是所有的传统传动机构都能被直线电机替代,如果工作状态不能发挥直线电机的高速性能,这种替代可能是不合理的。
另外对于成本问题,直线模组的前期成本虽然高于丝杆,但对于高精度的应用时,高等级的丝杆的采购成本也会比较高,并且此时丝杆系统也需要考虑安装线性编码器,这样直线模组和丝杆之间的成本差距就会变得很小;并且丝杆传动的平台还存在着使用中的维护和磨损问题,由此带来的人工成本和维护成本也不容小视,***后,随着直线电机的生产技术的提高以及量产化的不断扩大,其采购成本也在不断降低。
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