十万级洁净室主要采用的送风方式：1.局部孔板顶棚送风;2.带扩散板有效空气过滤器顶棚送风;3.上侧墙送风等三种送风方式。

十万级洁净室主要采用的回风方式：1.单侧墙下部布置回风口；2.当采用走廊回风时，在走廊内均匀布置回风口或在走廊端部集中设置回风口。

送风口风速(米／秒)：1.孔板孔口3～5；2.侧送风口：（1）贴附射流2～5；（2）非贴附射流同侧墙下部回风1.5～2.5，对侧墙下部回凤1.0～1.5。

回风口风速（米／秒）：1.洁净室回风口不大于2；2.走廊内回风口不大于4。

这里每个洁净度级别似乎都有两类过滤器可供选择，选择性能的还是低性能的，要视具体情况而定:当环境污染严重，或室内排风比例很大，或该洁净室特别重要，需要较大安全系数，在这些或其中之一情况下，均要选择高一类过滤器;反之可选择较低性能过滤器。对0.1μm粒子要求控制的洁净室，不论控制的粒子浓度高低均要选择D类过滤器。以上所述仅从过滤器角度出发，实际上要选择好过滤器还要整体考虑洁净室特性、过滤器特性和净化系统特性。


对于多个过滤器的风□,近几年常采用液槽密封和负压密封。液槽密封必须保证液槽接缝严密和整体框架都处于同一水平面上。负压密封就是使过滤器与静压箱和框架接缝的外周边处于负压状态，与明装型式一样即使渗漏也不会漏到室内。实际上只要做到安装框架平整，过滤器端面与安装框架接触均匀，任何安装型式使过滤器达到安装严密性要求应该说是不难的。