罗茨真空泵维修的***维护方法

针对罗茨真空泵维修使用过程中出现的一些问题，罗茨真空泵维修***总结出了以下关于真空镀膜机真空泵的日常***以及维护方法。

1、开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和滑阀真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。

2、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在点运转，才能提高节能的效果。

3、真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35℃，上至温度不得超过80℃。

4、如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。

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东莞捷诚精密机械设备有限公司专注真空设备11年，***一线真空泵品牌服务商。

罗茨真空泵维修薄膜加工中的应用

微电子器件是现代高速计算机和个人计算机的基础,当今在某些发达***,微电子和计算机工业已经超过了能源、材料、交通和钢铁工业而占国民经济产值的前沿。在电子工业和计算机工业的发展中,罗茨真空泵维修科学与技术做出了重要贡献。

微电子器件的发展,将推动人类社会更快地进步。微电子器件的发展趋势是大规模集成电路,集成度越来越高,也就是芯片上的功能元件尺寸越来越小。其规律是莫尔（Moore）定律所描述的,每18个月同样大小芯片上的元件数增加一倍。过去20年是这样,电子学家预言,未来的15年仍是这样。

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辅助抽气系统：

排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵 机械泵 罗茨泵 低温冷阱 polycold”组成。

排气流程为：

机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。

机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。

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