辅助抽气系统：

排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵 机械泵 罗茨泵 低温冷阱 polycold”组成。

排气流程为：

机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。

机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。

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真空泵维修PVD涂层性能特点

1真空泵维修的属性

·金属外观

·颜色均匀一致

·耐久的表面，在各种基本的空气和直射阳光环境条件下长久保持良好外观。

·颜色深韵、光亮

·经济，可减少清洗和擦亮电镀黄铜或金色所必须的时间和成本。

·对环境无害，避免化学反应和VOC的散发。

·具生物兼容性

真空泵油、真空泵专用油、莱宝真空泵油、爱德华真空泵油、爱发科真空泵油、及真空泵配件

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真空泵维修的***小窍门

真空镀膜产品长期暴露在空气中，面对酸碱等强腐蚀性物质的接触，还是难以抵挡。因此，平时***维护时，尽量不选用含强酸强碱或去污能力强的清洗剂，如洁厕精，脱漆剂，金属清洗剂等，可以选用工业酒精用绒布轻柔擦拭；如果表面有污垢，也要选用弱酸弱碱溶剂来处理。

此外，如果长时间暴露在恶劣环境中，或与腐蚀性液体长时间接触，PVD膜层也容易出现脱落等问题，如游泳池（含氟），海水（含盐分多），高温高湿（蒸汽）等环境中。

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