真空泵在真空泵维修中的作用

有机复合信息存储薄膜研究取得的成果说明真空技术在未来的纳米电子器件的研究中仍占有极其重要的地位。目前超高真空的获得和测量技术已经成熟，但更广泛的应用，

特别是为发展未来信息社会的关键技术一纳米电子器件中，真空技术的应用还是非常有吸引力的课题，大量的工作有待开发。在即将到来的21世纪，真空技术将随着纳米电子学进入信息社会的各个领域，发挥越来越大的作用。

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真空泵维修的应用技术

用离子团束和高真空沉积技术研制了用于超高密度信息存储的有机和金属有机纳米薄膜，其中主要有两类：一类是银/有机（如Ag－CPU）复合薄膜，用扫描隧道显微镜（STM）的电压脉冲写入信号斑直径为10nm，可以稳定地写入和读出0和1信号。

用半导体激光器薄膜读写装置（波长为780nm）研究了Ag－CPU薄膜的光学存储特性，结果表明光脉冲10.4mW，宽10μs写入信号；7.0mW，宽1ms光脉冲可以擦除信号；1.1mW可以稳定读取信号。

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真空泵维修在信息薄膜加工中的应用

近些年北京大学和科学院北京真空物理实验室***研究有机复合薄膜的超高密度信息存储器件，其制备的关键技术是纳米厚度的高质量功能薄膜。当今的薄膜形成过程中能够保持真空纯洁环境，故可以得到高质量的薄膜。物***相沉积（PVD）技术主要有蒸发、溅射镀、离子镀、分束外延和离子团束镀等。

在分析了真空方法制备有机功能薄膜的几种技术后，经比较认为，离子团束（ICB）沉积技术用于制备有机功能薄膜是***适用的。它是将材料蒸发经过绝热膨胀过程，电离过程形成荷电原子团，经历加速被沉积到基底上。原子在基底表面具有较大的迁移率，这有利于薄膜的成核和晶粒生长，形成高质量的薄膜，通过控制绝热过程，电离电压，加速电压和基底温度可以制成晶体、多晶或无定形薄膜。

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