真空泵维修方法制备有机功能薄膜的技术

莫尔定律讲的是硅片上的元件密度,这是描述大规模集成电路进行信息加工能力的参量,按照IBM公司1994年发表的特殊报告讲到的关于奇妙的芯片:元件的尺寸越小,芯片的功能越大。

信息存储密度106bit／cm2，可存下一篇30页;108bit／cm2,能存300页的书10本;1010bit／cm2,存1000本书;1012bit／cm2,存10万本书,对于一块3.5＂磁盘可存入500万本书是可能的。这几乎是我国目前省级图书馆的全部藏书。由这个估算可见存储密度的提高,其芯片的功能是极其惊人的。这只是量变的推算,应该考虑到量变到质变产生的功能飞跃。

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真空泵维修技术的主要特点和优势

PVD镀膜(离子镀膜)技术的主要特点和优势—和真空蒸发镀膜真空溅射镀膜相比较，PVD离子镀膜具有如下优点：

A.膜层与工件表面的结合力强，更加持久和耐磨

B.离子的绕射性能好，能够镀形状复杂的工件0v R0S4

C.膜层沉积速率快，生产

D.可镀膜层种类广泛

E.膜层性能稳定、安全性高(获得FDA认证，可植入***).

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辅助抽气系统：

排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵 机械泵 罗茨泵 低温冷阱 polycold”组成。

排气流程为：

机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。

机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。

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