真空泵维修原理和机械泵的参数

机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此主要应用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此目前应用广泛，本文主要介绍)四种类型。

机械泵是从大气开始工作的，它的主要参数有极限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。

抽气速率，是指旋片泵按额定转数运转时，单位时间内所能排出气体的体积，可以用下公式计算：Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸气结束时空腔截面积，L表示空腔长度，系数表示转子每旋转一周有两次排气过程，Vs表示当转子处于水平位置的时候，吸气结束，此时空腔内的体积，转速为n。

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真空泵在真空泵维修中的作用

有机复合信息存储薄膜研究取得的成果说明真空技术在未来的纳米电子器件的研究中仍占有极其重要的地位。目前超高真空的获得和测量技术已经成熟，但更广泛的应用，

特别是为发展未来信息社会的关键技术一纳米电子器件中，真空技术的应用还是非常有吸引力的课题，大量的工作有待开发。在即将到来的21世纪，真空技术将随着纳米电子学进入信息社会的各个领域，发挥越来越大的作用。

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真空泵维修PVD涂层性能特点

PVD膜层抵抗力

·耐腐蚀，化学性能稳定。

·抗酸

·在常规环境下，户内或者户外，不褪色，不失去光泽并不留下痕迹。·正常的使用情况下不会破损。

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·容易清除油漆和笔迹。

·在强烈的阳光，咸的湿地和城市环境下，都不失去光泽，不氧化，不褪色，不脱落和爆裂。

膜层颜色种类繁多，表面细腻光滑，富有金属光泽。

在烈日、潮湿等恶劣环境中不变色、不脱落，性能稳定。

高度耐磨损，耐刮擦，不易划伤。

可镀材料广泛，与基体结合力强。

高真空离子镀膜技术——对***和生态环境真正无害。

经济性：节约（减少）了一般镀铜（金）产品所需清洁磨光的时间和花费，使用一块软布和玻璃清洁剂即可清洁干净PVD膜层。

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