真空设备检漏

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检漏方法的分类

按被检容器所处的状态可分为两大类，即加压检漏法和真空检漏法。

(1)加压检漏法。在被检容器内充入一定压力的气体(称试验气体或者探漏气体)或液体，当容器上存在漏孔时，气体(或液体)便从漏孔中逸出，从哪里逸出，逸出量的多少等，就可判断有无漏孔存在、漏孔位置和大小。属于此类检漏方法有:

水压法:将清洁的水压入被检容器中，一般水压在2~3个大气压左右，观察容器外壁有无水珠出现，根据水珠出现的位置大小和快慢，来确定漏孔位置和估计漏气量的大小。

气压法:将试验气体(空气或其他气体)压入被检容器，在外面检查有无气体逸出，具体方法有:声响、火焰、气泡指示法(水槽法、皂膜法);氨检漏法;卤素检漏仪和氨质谱仪吸嘴法和放she性同位素法。其中卤素检漏法是，金属铂在高温(常用850~950℃)下产生正离子发射(主要是碱金属离子)，这种发射遇到卤素气体时急剧增加，依据这个现象可以制成一种检漏仪器，即卤素检漏仪。

铂的离子发射现象被设置在一个探头中，探头是一支二极电子管结构，加热丝、阳极及不锈钢阴极组成一间热式二极管，后部安装吸气风扇，使用时不断吸进气体，工作时二极管的阳极由灯丝加热到850~950℃，阴极对阳极加有250V负电压并收集正离子，离子电流由电子电路放大后，用仪表指示，考虑到检漏时无暇观察仪表指示，仪表还设有扬声器，当探

出漏孔时，仪器便发出声音。

示漏气体多用氯的卤化物，如氟利昂、氯fang、四LV化碳等，其中以氟利昂无du、不可燃、蒸汽压力高、灵敏度高被广泛应用。检漏时，卤素气体充于被检件内，用外探头在外部

寻找漏孔。这种方法可检出10-9 Pa·m3/s的漏孔，工业产品一般为10-6~10-7Pa·m3/s。

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真空设备氦检漏

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氦分子在质谱检漏仪器高真空的环境中扩散的速度很高，用氦气作示漏气体其本底噪声低，分子质量及粘滞系数小，因而极易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体是无***性、无du、无***，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有氦质谱检漏仪（调整到仅对氦起反应的工作状态）的被检容器上，若容器某一部位有漏孔，则氦质谱检漏仪立即有所反应，从而可知漏孔所在位置及检测漏气量大小。

泄漏和密封是相对而言的，真空检漏设备厂家，氦质谱检漏仪检测被检容器的泄漏程度的量化一般用漏率来表示，其计算方法原理如下：

漏率的定义：Q1=Δp×VΔt［1］。

式中：Δp为压强的变化量；V为容器的体积；Δt为时间的变化量。

因此漏率可简单理解为：单位时间内，单位体积容器，压强的变化。

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真空泵真空设备检漏维修

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工作条件：

　　①检漏仪要工作必须使检漏仪内部真空系统正常工作，因此检漏仪机械泵8、分子泵1 和电磁阀V1 串联工作，达到质谱室所需要的高真空，满足离子源可靠工作时即达到检漏仪工作条件，即我们所说的自检通过。

　　②满足检漏口14 达到1000 Pa 以下，由于真空自耗电弧炉容积约2~3m3，因此无法使用检漏仪自身的真空泵进行炉室抽空，必须使用电弧炉的真空系统作为检漏仪的辅助系统对其抽空，从而满足检漏口1000 Pa 以下的使用要求。

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