真空设备检漏
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有漏气必有漏孔,真空技术中通常指的漏孔是非常微小的,其截面形状各不相同,漏气路径也各式各样。漏孔常出现在焊缝搭头、应力集中、弯折、拆卸等部位,一般是由于焊接、表面不清洁、工艺规范不当、结构不合理、安装不仔细等原因造成。
漏孔的几何尺寸很小,肉眼不能察觉,加之漏气路径各式各样,截面形状又很复杂,所以漏孔的大小极难用其几何尺寸来度量,在真空技术中漏孔的大小有专门的表示。
由气体定律PV=M Rt/μ可知,当温度一定时,气体的质量M可以用气体的压强和体积的乘积PV(即气体量)来表示,而PV又是容易测量的,所以漏孔的大小可以用单位时间漏入系统的气体量(PV)来表示,亦称漏率。其物理意义为压强×体积/时间。漏率的国际单位为'瓦特'(W)或帕·立方米/秒(Pa·m3/s)。
漏孔的漏率也就是通过漏孔的气体流量,这个气体流量受环境温度、漏孔两端的压差和气体种类等因素的影响。因此为了客观地反映漏孔的大小,就必须考虑到上述三个因素。一般为了设计、计算和运用方便起见,将漏孔的漏率定义为:在环境温度23℃条件下,漏孔的一端为一个标准大气压,而另一端为真空状态时,单位时间内流过漏孔的空气的气体量。
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干式真空泵
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无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
2013年止,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,真空箱检漏设备报价,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。
对于普通的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻di解决问题,真空箱检漏设备价格,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。
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真空泵
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干泵国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,真空箱检漏设备公司,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。
水环泵水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2×105Pa表压力。水环泵初用作自吸水泵,而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医yao及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等,水环泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展,水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的,故可抽除气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,因此,水环泵应用日益增多。如图:在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入 深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外。
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