氦质谱检漏仪的不同测量方法满足多种需求

氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口，性能稳定可靠。秀长的体积，优越的性能，适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理，采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术，实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换，具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。

氦质谱检漏仪特点：

1.检测时间和响应周期非常短，可以达到2s以内；

2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；

3.多种大漏保护模式，充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击；

4.大漏检测功能：可通过预设压力，抽空时，达不到预设值，检漏仪自动报警提示。

5.多种计量单位选择，检测数据实时更新，氦检设备生产厂家，直接输出生成Excel表格。

氦气检测方法

深圳锐诚真空——***氦检漏设备供应商，我们为您带来以下信息。

1 氦气测量精度较高。

在室温和大气压力下，氦是无色、无味的气体，是人类发现临界温度的物质。氦是单原子气体，化学性质不活泼。氦气一般不生成化合物，在低压放电管中受激发可形成He 2、HeH等离子及分子，广泛应用于、科研、石化、制冷、、半导体、管道检漏、超导实验、金属制造、深海潜水、焊接、光电子产品生产等。由于氦气是惰性气体，因此不会腐蚀设备。应用氦气质谱检测仪，能够将检测合格及不合格的铝合金车轮自动区分到不同的地方，使轮胎的质量风险降低，防止微小漏气造成的安全隐患。

2 降低人工成本。

由于氦气气密检测设备是全自动操作设备，既不需要人工搬运铝合金车轮，也不需要操作人员目不转睛地观察，实现自动化，使得人工成本得到降低。

3 .大大提升检测效率。

正常情况下，每班次能够检测铝合金车轮1300只，每年就可以检测140多万只铝合金车轮，而传统的气泡检测设备每班次只能检测300只，每年检测30多万只。由此可见，应用氦气检测方法，能够使检测效率得到大大提升。

真空检漏

真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。

漏率的大小需进行校准后方能确定。一般采用比较法，即将被检漏孔与标准漏孔在检漏仪上进行比较，就可得出被检漏孔的漏率。 检测真空系统或其零部件的漏孔的方法。对一定的容器进行足够长时间的抽气后，容器压力不再变化，这时的抽气量必定与容器的漏气量和放气量之和相等，即puSe=qL q0，式中pu为容器的极限压力，Se为容器排气口处的有效抽气速率，qL和q0分别为容器的漏气量和放气量。如放气量少到可以不计，则平衡式变为puSe=qL，或pu=qL/Se。这说明容器的极限压力由漏气量与有效抽气速率的比值决定。如抽气速率一定(常数)，要得到低的极限压力便应降低漏气量，检漏便是关键的措施。

漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器内外的压力差会使气体通过漏孔从容器的一侧通向大气侧。漏孔一般很微小，实际上不能测出漏孔的具体大小，所以漏孔大小都用漏率(在规定的条件下气体流过漏孔的流量)来表示。漏孔两侧存在着压力差，即可利用气体流动引起的效应来检漏。为便于检漏和易于检测出漏孔的位置，一般尽可能缩小检测的面积范围，所以先侧重于对零部件的检漏。零部件经过严格的检漏，组装后就可避免漏气。

氦检设备生产厂家由深圳锐诚真空技术有限公司提供。深圳锐诚真空技术有限公司（www.rcvac.com）为客户提供“真空箱氦检设备,sf6微水仪,sf6检漏仪,LNG抽真空设备”等业务，公司拥有“锐诚真空”等品牌，专注于高压开关等行业。欢迎来电垂询，联系人：史萌萌。