氦质谱检漏仪的日常***与维护

以下是深圳锐诚真空为您一起分享的内容，深圳锐诚真空***生产氦检漏设备，欢迎新老客户莅临。

质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、***定量准确等优点而被广泛应用，但是在长时间的使用过程中常常会出现一些故障和现象，从而影响设备的正常使用。

检漏仪的故障和处理

1 内部的泄漏

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点，更换密封件。

2 本底信号不稳定

1）本底信号过高有可能是环境本底被污染，注意检查室内是否有氦气源在泄漏。将室内的门窗打开通风，降低环境本底。

2）本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时，质谱室极易被污染，需返厂进行清洗，本底信号不稳定，检查电源电压是否稳定，检漏仪应有可靠的接地。

3）本底信号不稳定，检查泵油是否浑浊，被污染。

3 设备的分子泵不启动

分子泵不启动，主要有检查供电和前级真空是否正常（较常见的是前级真空机械泵故障或没有打开造成的分子泵无法启动）。或者是分子泵本身因振动和粉尘污染造成的损坏。

4 设备的质谱室不能正常工作

质谱室主要是灯丝无法正常加电，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。

5 前级机械泵工作不正常

主要经常观察泵油的颜色是否正常，粉尘的污染会使油色变黑，水汽会使油色呈现乳白色，都将导致机械泵工作不正常。另外过低的温度会使机械泵油粘稠度增加无法启动，过高的温度也会使机械泵产生热保停止工作，使用机械泵的环境温度在 10至 40之间使用。

氦气检测方法

深圳锐诚真空——***氦检漏设备供应商，我们为您带来以下信息。

1 氦气测量精度较高。

在室温和大气压力下，氦是无色、无味的气体，是人类发现临界温度的物质。氦是单原子气体，化学性质不活泼。氦气一般不生成化合物，在低压放电管中受激发可形成He 2、HeH等离子及分子，广泛应用于、科研、石化、制冷、、半导体、管道检漏、超导实验、金属制造、深海潜水、焊接、光电子产品生产等。由于氦气是惰性气体，因此不会腐蚀设备。应用氦气质谱检测仪，能够将检测合格及不合格的铝合金车轮自动区分到不同的地方，使轮胎的质量风险降低，防止微小漏气造成的安全隐患。

2 降低人工成本。

由于氦气气密检测设备是全自动操作设备，既不需要人工搬运铝合金车轮，也不需要操作人员目不转睛地观察，检漏仪报价，实现自动化，使得人工成本得到降低。

3 .大大提升检测效率。

正常情况下，检漏仪多少钱，每班次能够检测铝合金车轮1300只，每年就可以检测140多万只铝合金车轮，而传统的气泡检测设备每班次只能检测300只，每年检测30多万只。由此可见，应用氦气检测方法，能够使检测效率得到大大提升。

氦质谱检漏仪

1.智能化：以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。

2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。

3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节0点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，检漏仪，菜择功能，一个按钮即可完成全检漏过程。

4.全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

5.检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。

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