双级真空泵

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双级旋片式真空泵的技术参数真空泵型号2X-22X-4A2X-8A2X-82X-15A2X-152X-302X-70抽气速率248153070极限

　　真空关气镇

　　开气镇Pa

　　(Torr)6×10-2(≤5×10-4)1106×10-1(5×10-3)(≤1×10)电动机功率(KW)0.370.551.11.535.5温升（℃）≤40进气口径(mm)182540406580转速(r/min)450590 420用油量(L)0.71.02.02.83.04.2噪声dB(A)68≤68≤70≤75≤78(～70)≤80

　　(～75)外形尺寸(cm)56×31

　　×3956×34

　　×3779×43×5479×53×5478×50×5691×65

　　×70适用电磁阀型号DDC-JQ25DDC-JQ40DDC-JQ65DDC-

　　JQ80重量（kg）585580110232330冷却方式自然冷却水冷自然冷水冷冷却水量(L/min)-gt;0.5-gt;0.8gt;1gt;2

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真空设备检漏与维修

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为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如***物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要***行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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真空泵真空设备检漏维修

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1.2、真空检漏的分类

真空检漏可以分为两大类。一，充压检漏法；二：真空检漏法。

①充压检漏法：指在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出漏孔漏出的示漏物质的方法。主要有升压法、听音法、气泡法等。

②真空检漏法：指将管道和检漏器的敏感元件处于真空状态，在管道的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元素空间，由敏感元件检测出示漏物质的方法。主要有真空计法、静态升压法、氦质谱检漏仪法。

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