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?背压法——测总漏率?

电子元器件进行.qi密性检测时常用背压法。检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，终到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。

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2XZ-0.5旋片真空泵

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2XZ系列真空泵为双级直联结构，它的工作性能由高压级与低压级二部分组成，它的吸入口与真空设备连接，在运转时容器内的气体将大量吸入与排出，当设备获得真空时，高压级排气阀封闭，高压级吸入的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出，这样真空设备可获得一定的真空，该泵的技术参数为6×10-2，泵与电机连轴，高转速，外型小，结构紧凑，流动性工作方便，我公司特采用金属刮片，适用于扩散泵的前级泵，精密仪器的配套与实验室，、食品包装，电子等单位使用。

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真空设备检漏

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氦气质谱分析仪：该方法就是在负压法的基础上，采用质谱仪来进行检漏，其连接方式有多种，根据实际的使用，对为通用和检漏本Di的方式进行说明，该方法可以对漏点进行位置的确定和泄漏量的判断。

其工作原理为:开始主要由真空系统对腔体进行抽真空，当真空度达到检漏仪起测点后，开启检漏仪，检漏仪本身也是一组由小型分子泵和机械泵组成的真空系统，其开启后也参与腔体的抽气工作，此时，检测人员，就可以采用氦气对腔体中所有接口及焊缝进行吹气，如果有漏点存在，当氦气经过此位置时，真空检漏设备报价，就会有少量的氦气随同空气进入腔体，再由真空管路抽走，此时，会有少量的氦气进入检漏仪中，检漏仪内部的氦气质谱仪，就会检测到氦气的存在，通过报警器发出报警，提示检测人员在此位置附近存在泄漏点。由于，氦气的密度小，在大气中其会向上飘散，故此，在吹气检测时，应从设备上部开始吹气，以便漏点的位置确定。在进行双层夹套的检漏时，可以将夹套作为***的腔体进行单独抽真空检漏，实现对内外壁的一次性检测。由于目前检漏仪技术足以做到使真空系统的漏气量远小于系统的放气量，因此真空系统所需要的真空泵的大小主要取决于真空系统所使用的材料放气率的大小。所以，针对不同类型的内胆材料需要真空泵的抽速也会不尽相同。

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