氦检漏设备简介

中文名:真空检漏

拼音:zhenkong jianlou

英文名:vacuum leak detection

真空系统、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊缝、机械连接处存在孔洞、裂纹或间隙等缺陷，外部大气通过这些缺陷进入系统内部，致使系统、容器或器件达不到预期的真空度，这种现象称为漏气。造成漏气的缺陷称为漏孔。漏孔尺寸微小、形状复杂，无法用几何尺寸表示，因此在真空技术中用漏率来表示漏孔的大小。漏率是指单位时间内漏入系统的气体量，其单位为帕·米3/秒(Pa·m3/sec)或托·升/秒(Torr·L/sec)。

1Pa·m3/sec=7.5(Torr·L/sec)

真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。

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如何选择真空检漏仪

一．对检漏方法的一般要求

1.检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；

2.反应时间短，可以提高工作效率；

3.能***、定量，即不经能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；

4.能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；

5.稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度稳定可靠；

6.所用“示踪气体”在空气中含量低，***，不腐蚀零件；

7.检漏范围大，从大漏孔到小漏孔都能检测到，以减少检漏设备的数量和费用；

8.检漏时洁净无油，满足一些特殊的要求

二．选择真空检漏仪检漏方法的原则

1.主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合，为找到一个单个漏孔，所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1-2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11w，氦检设备厂家，而必须选用的检漏仪灵敏度为10-12∽10-13W；

2.根据具体被检对象，所用方法简便易行，经济实用。

质谱法基本原理

质谱，又称质谱法（mass spectrometry，MS），是通过不同的离子化方式，将试样（原子或分子）转化为运动的气态离子，并按照质荷比（m/z）大小进行分离检测的分析方法，是一种与光谱并列的谱学方法。根据质谱图上峰的位置和相对强度大小，质谱可对无机物、有机物和生物大分子进行定性和定量分析。Thomson JJ于1906年发明质谱，并运用于发现非性同位素和无机元素分析。20世纪40年代以后开始用于有机物分析。Thomson JJ于1906年发明质谱，并运用于发现非性同位素和无机元素分析。20世纪40年代以后开始用于有机物分析。80年代初期，快原子轰击电离的应用，是质谱更好的运用于生***学大分子。90年代以来，随着电喷雾电离和基质辅助激光解吸电离的应用，已形成生物质谱学一新学科[1]。目前，质谱法已经日益广泛的应用于原子能、化学、电子、冶金、、食品、陶瓷等工业生产部门，农业科学研究部门，以及物理、电子与离子物理、同位素地质学、有机化学等科学技术领域[2]。

质谱法基本原理

质谱法的基本原理是试样分子或原子在离子源中发生电离，生成各种类型带电粒子或离子，经加速电场的作用获得动能形成离子束；进入质量分析仪，在其中再利用带电粒子在电场或磁场中运动轨迹的差异，将不同质荷比的离子按空间位置或时间的不同而分离开；然后到达离子将离子流转变为电信号，得到质谱图。

质谱仪基本结构，化合物的质谱是由质谱仪测得的。质谱仪是使分析试样离子化并按质荷比大小进行分离、检测和记录的仪器。一般质谱仪由进样系统，离子源，质量分析仪，离子及信号放大记录系统组成

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