真空泵
深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳,在北京、浙江设有******。是一家专门从事各种真空应用设备制造,集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品:真空设备,检漏仪,微水仪,lng抽真空系统,非标真空设备,真空标准件以及真空设备的维护***。
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根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类:(1)一般水泵,压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为'粗'真空。(2)油泵,压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为'次高'真空。(3)扩散泵,压强可达0.133Pa以下,(10-3mmHg)为'高'真空。若要较低的压力,那就要用到油泵了,好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。
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真空泵
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真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量,真空箱检漏设备报价,使用真空泵时必须把它保护好。如果蒸馏挥发性较大的有机rong剂时,有机rong剂会被油吸收结果增加了蒸气压,从而降低了抽空效能,如果是酸性气体,那就会腐蚀油泵,如果是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。因此使用真空泵时必须注意下列几点:在蒸馏系统和真空泵之间,必须装有吸收装置。蒸馏前必须用水泵彻底抽去系统中有机rong剂的蒸气。如能用水泵抽气的,则尽量用水泵,如蒸馏物质中含有挥发性物质,可先用水泵减压抽降,然后改用油泵。减压系统必须保持密不漏气,所有的橡皮塞的大小和孔道要合适,橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。
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干式真空泵
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干式真空泵主要有下列几种形式:
双圆裂片式
双圆裂片式设计和目前liu行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上,一些早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂,并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时,为了达到好的真空度,对各级的间隙有非常严格的要求。当然,这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。
三叶圆裂片式
三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同,只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的能力-下降。同双圆裂片式设计一样,三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。
组合式(罗茨 爪)
组合式(罗茨 爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率,用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其后一级改为星型设计,这样可以在旋转一圈中将气体分为五份,就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样,在很多工艺中,组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。
外部压缩型螺杆式
在外部压缩型螺杆式设计中,使用一对等距螺杆。这使得内部压缩减到xiao,同时使得气体通路短也简单。这样,气体在泵体内停留的时间也短。虽然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高,但在很多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。这种单级设计使得其对氮气用量的要求也非常小而且简单,这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在很多清洁的工艺中甚至可以不用氮气。
内部压缩型螺杆式
除了使用一对非等距螺杆以外,内部压缩型螺杆式设计和外部压缩型螺杆式设计的基本原理非常相似。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。但在很多工艺中,这种内部压缩同多级泵一样,极易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。
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