真空设备检漏
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氦气质谱分析仪：该方法就是在负压法的基础上，真空检漏设备，采用质谱仪来进行检漏，其连接方式有多种，根据实际的使用，对为通用和检漏本Di的方式进行说明，该方法可以对漏点进行位置的确定和泄漏量的判断。
其工作原理为:开始主要由真空系统对腔体进行抽真空，当真空度达到检漏仪起测点后，开启检漏仪，检漏仪本身也是一组由小型分子泵和机械泵组成的真空系统，其开启后也参与腔体的抽气工作，此时，检测人员，就可以采用氦气对腔体中所有接口及焊缝进行吹气，如果有漏点存在，当氦气经过此位置时，就会有少量的氦气随同空气进入腔体，再由真空管路抽走，此时，会有少量的氦气进入检漏仪中，检漏仪内部的氦气质谱仪，就会检测到氦气的存在，通过报警器发出报警，提示检测人员在此位置附近存在泄漏点。由于，氦气的密度小，在大气中其会向上飘散，故此，在吹气检测时，应从设备上部开始吹气，以便漏点的位置确定。在进行双层夹套的检漏时，可以将夹套作为***的腔体进行单独抽真空检漏，实现对内外壁的一次性检测。由于目前检漏仪技术足以做到使真空系统的漏气量远小于系统的放气量，因此真空系统所需要的真空泵的大小主要取决于真空系统所使用的材料放气率的大小。所以，针对不同类型的内胆材料需要真空泵的抽速也会不尽相同。
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真空检漏设备真空检漏设备
真空泵真空设备检漏维修
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真空检漏设备真空检漏设备
检漏仪原理图中14 检漏口的位置通常可以连接在图1 中虚线A 或B 的位置，因为这两处均能达到检漏仪检漏口小于1000 帕 的工作要求，对于粗检两个位置都能够达到要求，但对于系统的小漏，位置的选择则相当关键，对于核级锆铸锭的生产来说，当漏率介于0.65~1.5帕/min 时更要注意位置的选择。主要原因是由于：该型号的检漏仪分为检测大漏、中漏和微漏，当检漏口14的压强100 帕lt;Palt;1000 Pa 时检漏仪V1 和V2打开，氦气部分分子沿分子泵排气口逆流进入质谱室，因此只有当氦气分子较多时才能被检测到；当压强10 帕lt;Palt;100 Pa 时，检漏仪关闭V2，打开V3，V1 阀，此时氦气分子较多沿4 处分子泵进气口1 逆流进入质谱室中，可以检测到系统的中漏；当Pa lt;10帕 时，检漏仪关闭V3，打来V4、V1 阀，此时氦气分子大部分沿15 处分子泵进气口2 逆流进入质谱室中，达到检测微漏的效果。
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真空泵
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真空检漏设备真空检漏设备
根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类：(1)一般水泵，压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为'粗'真空。(2)油泵，压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为'次高'真空。(3)扩散泵，压强可达0.133Pa以下，(10-3mmHg)为'高'真空。若要较低的压力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。
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