干式真空泵
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1)真空度:干式螺杆真空泵、爪式真空泵、无油涡旋真空泵极限真空度都很高，gao极限真空均可达到1-2Pa;无油往复真空泵为粗真空设备，极限真空度低，需要搭配罗茨真空泵提限真空。
2) 抽气量:无油涡旋真空泵由于内部结构问题，抽气量较小，只适用于小抽气量的工艺中;干式螺杆真空泵型号齐全，可适用大抽气量工艺中，配合罗茨真空泵可以满足不同客户的需求。
3)稳定性:干式螺杆真空泵性能稳定，噪音低，故障率低;无油往复真空泵结构简单，噪音较高，需要经常更换滑片。爪式真空泵由于装配复杂，转子与轴不为一体，出现故障需全部重新拆解装配，反复装配从而降低产品性能及稳定性。
4)特殊处理:由于化工、制药等相关工艺气中会不同程度含有、以及腐蚀性气体，所以干式真空泵需要特殊处理。干式螺杆真空泵内部结构简单，两根转子、泵腔均可做防腐处理，可选用镍磷涂层和特氟龙两种涂层。爪式真空泵很难做防腐处理，各级隔板之间几乎无法做表面处理，转子表面的防腐涂层也容易在装配时损伤。无油涡旋真空泵只适合抽洁净的气体，不能抽取、及具有腐蚀性的气体。
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真空泵
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润滑油在真空泵中真空泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。这是真空泵油的重要的性能，真空检漏设备生产厂家，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在di真空极限压力下真空泵的极限压力。
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真空泵真空设备检漏维修
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检漏工作的实施
只要正确的做好检漏范围的预判和正确连接好检漏仪后就具备了检漏的前提，应当按照如下步骤进行查、检漏工作：
①正常启动电弧炉真空系统，当炉室达到稳定的中真空度后，通常在10 Pa 以下，打开检漏仪开始进行工作；
②按照先高后低、先近后远的顺序依次对炉室各个点进行喷氦，针对真空自耗电弧炉而言合理的检漏路线应当依次是电极杆动密封处———观察孔玻璃处———炉头法兰———坩埚法兰———真空检测排———真空管道———真空挡板阀———大、小罗茨。
③外部无法喷氦检漏部位的检查。外部不易喷氦检查到的部位主要有：a. 电弧炉支撑杆动密封；b.气动卡头密封；c.坩埚底垫密封；d.真空炉室内隔层焊缝处的渗漏；e. 气动真空挡板阀内部盖板密封。
a和b的***需要制作专用电极杆端头盲板，将电极杆下部的紫铜导电法兰拆下并将制作好的带有密封圈的盲板用螺栓固定在原导电法兰处，重新抽空并对炉室测压升率，如果压升率显著下降则可以证明是此处导致漏气。
c 主要靠替代更换法，重新装配另外一组坩埚进行压升率对比试验的方法。
d 需要采用隔层内部喷氦打压的方式，将电弧炉水排上所有的出水阀门全部关闭并关闭除炉室进水阀外的其他进水阀门，在水排进口对炉
室隔层进行喷氦打压，将压力充到0.1MPa 后，重复检漏仪的检漏操作，如果隔层渗气，气体将进入炉室被检漏仪检测。
e 通过开、停泵检测压升率的方式检测。如果挡板阀内部盖板漏气，则在阀门关闭的情况下，停止系统真空泵工作和不停止的情况下压升率会有较明显的变化。
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