真空泵

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利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种：（1） 往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。

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真空泵

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润滑油在真空泵中真空泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。这是真空泵油的重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在di真空极限压力下真空泵的极限压力。

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真空设备氦检漏

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氦分子在质谱检漏仪器高真空的环境中扩散的速度很高，用氦气作示漏气体其本底噪声低，分子质量及粘滞系数小，因而极易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体是无***性、无du、无***，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有氦质谱检漏仪（调整到仅对氦起反应的工作状态）的被检容器上，若容器某一部位有漏孔，则氦质谱检漏仪立即有所反应，从而可知漏孔所在位置及检测漏气量大小。

泄漏和密封是相对而言的，氦质谱检漏仪检测被检容器的泄漏程度的量化一般用漏率来表示，其计算方法原理如下：

漏率的定义：Q1=Δp×VΔt［1］。

式中：Δp为压强的变化量；V为容器的体积；Δt为时间的变化量。

因此漏率可简单理解为：单位时间内，单位体积容器，压强的变化。

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