干式真空泵

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干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有ji溶剂造成污染，适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

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往复真空泵

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往复泵的工作原理，如图2所示。泵的主要部件是气缸1及在其中做往复直线运动的活寨2。活寨的驱动是用曲柄连杆机构3来完成的。除上述主要部件外还有排气阀4和吸气阀5。泵运转时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的作用，使气缸内的活塞做往复运动。当汪室在等舸内从存端向右端话动时。由于气缸的左腔体积不断增大，气缸内气体的密度减少，而形成抽气过程，此时容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞达到右位置时，气缸内就完全充满了气体。接着活塞从右端向左端运动，此时吸气阀5关闭。气缸内的气体随着活塞从右向左运动而逐渐被压缩，当气缸内气体的压强达到或稍大于一个大气压时，排气阀4被打开，将气体排到大气中，完成一个工作循环。当活塞再自左向右运动时，又吸进一部分气体，重复前一循环，如此反复下去，直到被抽容内的气体压力达到要求时为止。在实际应用中，为了提高抽气效率，泵多半采用双作用气缸，即活塞能在两个方向(往复)上同时进行压缩和抽气，这主要是依靠配气阀门来实现的。国产的w型往复泵即是单级的双作用泵。

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真空泵真空设备检漏维修

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真空自耗电弧炉是目前世界上熔炼钛、锆等稀有金属的主要设备，由于其在真空下能有效的降低金属及其合金中的气体含量，更准确的控制化学成分，改善铸锭的质量等优势，因而被广泛应用。在实际生产中针对核级锆材来讲熔炼真空度及漏气率是电弧炉重要的工艺参数，由于种种原因真空漏气率往往无法不能达到工艺参数的要求而影响生产进度和产品质量。因此，如何快速的发现漏点，是真空维修过程中的关键。

真空检漏的概念

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真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气分为实漏和虚漏两种。实漏主要是由于气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流向低压侧的过程，属于设备自身问题，也是本文研究与解决的***问题；虚漏主要是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发等原因引起的气体压力升高的现象，主要通过长时间的抽空将发出的气体抽出系统外便可以正常使用和生产。

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