氦质谱检漏方法

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氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中很常用的两种方法。

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氧捡漏主要配置

深圳锐诚真空公司***生产、销售氦检漏设备，我们为您分析该产品的以下信息。

1. 可检漏率：5×10-12Pa·m3/s2. 漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s3. 启动时间：≤5min4. 响应时间：≤1s5. 检漏口的压力：1500Pa6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A7. 工作环境：5-35℃8. 相对湿度：≤80%9. 外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）10. 重量：64kg主要配置编辑1. 检漏仪专用分子泵2. 机械泵或者干泵3. 定制检漏仪专用电磁阀4. 内置标准漏口5. 放大器6. 采用质谱专用模块

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氧捡漏简介

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漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器内外的压力差会使气体通过漏孔从容器的一侧通向大气侧。漏孔一般很微小，实际上不能测出漏孔的具体大小，所以漏孔大小都用漏率（在规定的条件下气体流过漏孔的流量）来表示。漏孔两侧存在着压力差，即可利用气体流动引起的效应来检漏。为便于检漏和易于检测出漏孔的位置，一般尽可能缩小检测的面积范围，所以先侧重于对零部件的检漏。零部件经过严格的检漏，组装后就可避免漏气。

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