真空检漏

真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。

漏率的大小需进行校准后方能确定。一般采用比较法，即将被检漏孔与标准漏孔在检漏仪上进行比较，就可得出被检漏孔的漏率。 检测真空系统或其零部件的漏孔的方法。对一定的容器进行足够长时间的抽气后，容器压力不再变化，这时的抽气量必定与容器的漏气量和放气量之和相等，即puSe=qL q0，式中pu为容器的极限压力，Se为容器排气口处的有效抽气速率，qL和q0分别为容器的漏气量和放气量。如放气量少到可以不计，则平衡式变为puSe=qL，或pu=qL/Se。这说明容器的极限压力由漏气量与有效抽气速率的比值决定。如抽气速率一定(常数)，要得到低的极限压力便应降低漏气量，检漏便是关键的措施。

漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器内外的压力差会使气体通过漏孔从容器的一侧通向大气侧。漏孔一般很微小，实际上不能测出漏孔的具体大小，所以漏孔大小都用漏率(在规定的条件下气体流过漏孔的流量)来表示。漏孔两侧存在着压力差，即可利用气体流动引起的效应来检漏。为便于检漏和易于检测出漏孔的位置，一般尽可能缩小检测的面积范围，所以先侧重于对零部件的检漏。零部件经过严格的检漏，组装后就可避免漏气。

氦质谱检漏法的应用领域

氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无***性，使其广泛应用。主要领域和产品如下：

原子能工业——气体扩散处理系统、容器；

高能物理研究院——及其配件；

电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；

电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；

航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；

仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等；

空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；

真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；

冶金——真空电炉；

低温与压力容器——液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器；

轻工产品——保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。

这些部门的产品要求一定的密封性，其中，氦检设备报价，有的产品的泄漏会危害产品或工作过程，还有些产品泄漏会造成物质的流失，严重的会危害操作人员的生命健康。

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如何选择真空检漏仪

一．对检漏方法的一般要求

1.检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；

2.反应时间短，可以提高工作效率；

3.能***、定量，即不经能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；

4.能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；

5.稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度稳定可靠；

6.所用“示踪气体”在空气中含量低，***，不腐蚀零件；

7.检漏范围大，从大漏孔到小漏孔都能检测到，以减少检漏设备的数量和费用；

8.检漏时洁净无油，满足一些特殊的要求

二．选择真空检漏仪检漏方法的原则

1.主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合，为找到一个单个漏孔，所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1-2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11w，而必须选用的检漏仪灵敏度为10-12∽10-13W；

2.根据具体被检对象，所用方法简便易行，经济实用。

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