氦质谱检漏仪的不同测量方法满足多种需求

氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口，性能稳定可靠。秀长的体积，优越的性能，适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理，采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术，实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换，具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。

氦质谱检漏仪特点：

1.检测时间和响应周期非常短，可以达到2s以内；

2.检测的介质比较常用，氦检漏设备厂家，仅需压缩空气即可；

3.多种大漏保护模式，充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击；

4.大漏检测功能：可通过预设压力，抽空时，达不到预设值，检漏仪自动报警提示。

5.多种计量单位选择，检测数据实时更新，直接输出生成Excel表格。

氦质谱检漏仪

待机时电离室真空度保持在≤3x10-2Pa，灯丝不易被氧化脆断。在检漏过程中，当出现意外情况，系统突然暴露大气或真空度突然降低，导致大量的气体突然进入电离室，真空度≥1x10-1Pa时，灯丝电流急剧增大，灯丝被碳化，就发生了脆断现象。

氦质谱检漏仪灯丝寿命如何延长？有前面分析已知，造成氦质谱检漏仪灯丝脆断的原因：1.真空度低；2.灯丝电流过大；3.对灯丝***的气体气压太高（氧化性气体、水蒸气、氢气）。那么，在使用中尽量避免灯丝在上述恶劣环境下长时间开启，或者说尽量提高灯丝的上述使用条件就可以有效延长氦质谱检漏仪的灯丝寿命。如：1.使用中尽量将预置真空开关空挡；2.避免电离室泄入***气体（氧化性气体、水蒸气、氢气）。

氦检漏设备的工艺流程

A1:安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测;

B1:若A1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止;

B2:若A1检测通过，放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空模式，微漏检测;

C1:若B2检测不通过，则系统报警-----循环检，小漏工件序号显示------检测程序中止;

C2:若B2检测通过，真空箱内充入大气，同时工件内氦气回收-------真空箱开门，检测完成。

氦检漏设备厂家由深圳锐诚真空技术有限公司提供。深圳锐诚真空技术有限公司（www.rcvac.com）是广东 深圳 ,高压开关的企业，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在锐诚真空***携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创锐诚真空更加美好的未来。