检漏仪的***注意事项

1.如果仪器不是每天使用，建议每周开机检查一下，使仪器高真空系统保持真空，缩短仪器使用时的开机时间

2.拆卸仪器部件（如离子源）后，安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。

3.适时对仪器可能出现的泄漏处（如放气阀等）进行自身检漏，发现漏点后要及时取下清洗或固紧，以免在检漏时干扰检漏工作。

4.检漏仪维修每隔一段时间***油泵。（散热口灰尘处理，和泵油的检查更换）

5.禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上，尤其是进气口中，由于氦检漏仪为精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师，才能使用此仪器。

6.使用时，注意观察仪器的运行情况，一旦发现问题（如较大振动、高噪音等），仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源，并排除故障。

氦质谱检漏仪

1.智能化：以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。

2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。

3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节0点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜择功能，一个按钮即可完成全检漏过程。

4.全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

5.检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。

氦质谱检漏的优越性

氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理， 以氦作示踪气体， 对各种需密封的容器的漏隙进行快速***和定量检测的理想方法。

由于氦是惰性气体，检漏设备多少钱， 对大气无污染， 使用比较安全； 而且氦的原子量小、粘度小， 容易渗透过任何可能存在的漏隙， 因此检测灵敏度高、速度快、适用范围广； 另外氦在大气中含量少(仅万分之五) ， 离子质量与其它气体离子质量相差很大， 不易受干扰， 错判几率小。所以， 与其它诸多检漏方法比， 氦质谱检漏具有的优越性。

随着科学技术的不断发展， 检漏应用技术在不断地更新， 氦质谱检漏技术也在不断扩展到更广阔的领域当中。为提高产品合格率和生产效率， 不应一味沿用的古老且落后的手段处理泄漏问题。

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