真空检漏技术

真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，氦质谱检漏仪公司，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。

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氧捡漏介绍

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真空计检漏　根据相对真空计（热导真空计和电离真空计等）的读数检漏的方法。真空计的工作压力范围就是检漏适用的压力范围。检漏时在处喷吹示漏气体氢、氧、二氧化碳、或用棉花涂以。示漏气体进入系统后会引起真空计读数的突然变化。热导真空计可检漏率为10-3帕·升/秒的漏孔;电离真空计可检漏率为10-4～10-5帕·升/秒的漏孔。卤素检漏仪检漏　图2为卤素检漏仪的原理。铂阳极筒和不锈钢阴极筒构成一个间热式二极规管。当加热丝将铂阳极加热到 1027～1223K时，铂发出的正离子在负电场下到达阴极形成电流。在卤素气体的催化作用下，正离子的发射急剧增加。卤素检漏仪就是利用这样的效应制成的。检漏时将规管接到系统中，并将系统抽到9～2帕真空，有喷枪把卤素气体(常用氟利昂R12)喷向被检零部件表面处，引起离子流值急剧增加处即是漏孔位置。或与此相反将高于大气压力的卤素气体压入系统内，探测枪在被检零部件外表移动，卤素气体逸出处引起离子流值急剧增加，此处即为漏孔位置。用这种方法可检漏率为10-3～10-4帕·升/秒的漏气。氦质谱检漏　很常用的一种检漏法。用氦气作为示漏气体，以磁偏转质谱计作为检漏工具，氦质谱检漏仪生产厂家，工作原理与真空质谱计相同，差别仅在于氦质谱检漏仪使用的磁场和加速电压基本上是固定的，因为它只检测氦离子。另外，氦质谱检漏仪，为了提高离子流的输出，适当牺牲分辨能力以降低对测量放大器的要求，所以这种检漏仪具有结构简单、灵敏度高、性能稳定、操作方便等优点。氦质谱检漏仪的结构如图所示。氦质谱检漏仪的主要技术指标有：①灵敏度，又称可检漏率，单位为帕·米3/秒；②反应时间与清除时间，单位为秒；③工作压强与极限压强，单位为帕。

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氦质谱检漏仪

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氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

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