真空设备氦检漏

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如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，则用真空模式。HLT260型氦质谱检漏仪具有嗅探和抽真空2种检漏模式，即正压模式和负压模式。详细检漏方法与测量工作过程如下：

在抽真空方式下，待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连，

待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待测器件容积较大，则需额外的泵组一起协同作业以提高xiao率）。只需测量待测器件外部大气通过器壁的漏孔进入器件内部的氦的多少便可以判断漏率的大小。如果需要得到精que的漏率数值，则必须等待整个测量系统的真

空达到稳态，

并预先根据环境中氦的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的

位置，可以通过对可yi位置喷氦并检验漏率是否有明显的上升来完成。

与抽真空方式相反，嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少来获得漏率的大小的。预先向待测器件内充入一定氦气，

封闭测试端口，将嗅探探头连接至检漏仪，用嗅探探头对待测器件表面的可yi部位进行扫描。如果发现漏率明显的上升，便可判断漏孔的位置。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。但是，由于嗅探方式是通过检测器壁外的大气来进行测量的，大气中的氦会带来一个较高的漏率本底。这个本底虽可通过置零来清除，但仍会降低嗅探方式的灵敏度（嗅探方式xiao可检测漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。

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双级真空泵

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双级旋片式真空泵的技术参数真空泵型号2X-22X-4A2X-8A2X-82X-15A2X-152X-302X-70抽气速率248153070极限

　　真空关气镇

　　开气镇Pa

　　(Torr)6×10-2(≤5×10-4)1106×10-1(5×10-3)(≤1×10)电动机功率(KW)0.370.551.11.535.5温升（℃）≤40进气口径(mm)182540406580转速(r/min)450590 420用油量(L)0.71.02.02.83.04.2噪声dB(A)68≤68≤70≤75≤78(～70)≤80

　　(～75)外形尺寸(cm)56×31

　　×3956×34

　　×3779×43×5479×53×5478×50×5691×65

　　×70适用电磁阀型号DDC-JQ25DDC-JQ40DDC-JQ65DDC-

　　JQ80重量（kg）585580110232330冷却方式自然冷却水冷自然冷水冷冷却水量(L/min)-gt;0.5-gt;0.8gt;1gt;2

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旋片真空泵

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使用方法1、使用前，应仔细阅读产品使用说明书，开箱后应检查装运质量。收好备品备件和技术文件，拆除排气品防护件。按要求安装，接线，试转向。水泠泵接水。

2、为防止因返油与反转而喷油，应先开启泵口，按规定转向把泵内存油用手盘到油箱中。同时查看油位，应在油标中心以上，但不要满油标，多了要放出。

3、判断转向的辅助方法。把护套倒放在泵口上，如开泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。声音正常是正向，声音异常是反向。

4、如在泵口配装带充气电磁阀，一般应横装，并与泵同时动作。

5、相对湿度较高或被抽气体中含水汽等可凝性蒸汽时，应使用气镇阀。

6、按说明书推荐选用真空泵油。注意酯类真空泵油不可与矿物油型真空泵油和其他油类混用，必须严格清洗后才能换入酯类真空泵油。

7、检查泵的极限压力以压缩式水yin真空计为准。全压力计应注意做好计与规管的配对校准和备用比对规管。建议在规管与被测泵之间装一球阀。不测时关阀，可延长规管使用时间。

8、清洗。不宜浸洗，以免洗液进入拼接转子内部，不易排出。

9、拆装。要按照使用说明书推荐和规定有序进行，记好位置，合理摆放，真空检漏设备价格，以免错装。

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