真空泵工作原理

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真空泵的工作原理 一、2X型旋片式真空泵?简称旋片泵?工作压强范围为101325~1.33×10-2?Pa?属于低真空泵。它可以单独使用?也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、电子、化工、轻工、石油等生产和科研部门。 旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体?若附有气镇装置?还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的?对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。 旋片泵是真空技术中基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级?就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的?以获得较高的真空度。 旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下?在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1?Pa?下?其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。

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干式真空泵

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干式真空泵主要有下列几种形式:

双圆裂片式

双圆裂片式设计和目前liu行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上，一些早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂，真空箱检漏设备多少钱，并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时，为了达到好的真空度，对各级的间隙有非常严格的要求。当然，这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。

三叶圆裂片式

三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的能力-下降。同双圆裂片式设计一样，三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。

组合式(罗茨 爪)

组合式(罗茨 爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率，用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其后一级改为星型设计，这样可以在旋转一圈中将气体分为五份，就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样，在很多工艺中，组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。

外部压缩型螺杆式

在外部压缩型螺杆式设计中，使用一对等距螺杆。这使得内部压缩减到xiao，同时使得气体通路短也简单。这样，气体在泵体内停留的时间也短。虽然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高，真空箱检漏设备公司，但在很多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。这种单级设计使得其对氮气用量的要求也非常小而且简单，这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在很多清洁的工艺中甚至可以不用氮气。

内部压缩型螺杆式

除了使用一对非等距螺杆以外，内部压缩型螺杆式设计和外部压缩型螺杆式设计的基本原理非常相似。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。但在很多工艺中，这种内部压缩同多级泵一样，极易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。

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旋片真空泵

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基本参数抽气速率： 0.15~30L/S (升/秒)极限压强： ≤6*10-2Pa (帕)极限真空： ≤1.3Pa (帕)气体类型： 常温无其它混合物的清洁干燥空气，不许有含其它粉尘及水分的空气。工作要求： 进口压强在大于6500Pa时连续工作时间，不得超过3分钟以免喷油引起泵损。工作要求： 进口压强在小于1330pa的条件下，允许长时期连续工作。环境温度： 真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。

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