真空泵

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罗茨泵从国外罗茨泵生产情况来看，国外几家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、和ULVAC，他们各家罗茨泵的销售额占***罗茨泵销售额的比例都没超过5%，这5家总计才20%，罗茨泵产量不大，但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵，所以国产罗茨泵一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场另外，还要考虑到有些***和地区的电源频率为60Hz，更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性。国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快，技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得到平衡，所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。

分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

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真空设备检漏

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有漏气必有漏孔，真空技术中通常指的漏孔是非常微小的，其截面形状各不相同，漏气路径也各式各样。漏孔常出现在焊缝搭头、应力集中、弯折、拆卸等部位，一般是由于焊接、表面不清洁、工艺规范不当、结构不合理、安装不仔细等原因造成。

漏孔的几何尺寸很小，肉眼不能察觉，加之漏气路径各式各样，截面形状又很复杂，所以漏孔的大小极难用其几何尺寸来度量，在真空技术中漏孔的大小有专门的表示。

由气体定律PV=M Rt/μ可知，当温度一定时，气体的质量M可以用气体的压强和体积的乘积PV(即气体量)来表示，而PV又是容易测量的，所以漏孔的大小可以用单位时间漏入系统的气体量(PV)来表示，亦称漏率。其物理意义为压强×体积/时间。漏率的国际单位为'瓦特'(W)或帕·立方米/秒(Pa·m3/s)。

漏孔的漏率也就是通过漏孔的气体流量，这个气体流量受环境温度、漏孔两端的压差和气体种类等因素的影响。因此为了客观地反映漏孔的大小，就必须考虑到上述三个因素。一般为了设计、计算和运用方便起见，将漏孔的漏率定义为:在环境温度23℃条件下，漏孔的一端为一个标准大气压，而另一端为真空状态时，单位时间内流过漏孔的空气的气体量。

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真空泵真空设备

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（1)泵总体结构型式真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。（2)泵的传动方式真空泵的两个转子是通过一对齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重偏向电动机和齿轮箱一侧。

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