真空泵真空设备检漏维修
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1.2、真空检漏的分类
真空检漏可以分为两大类。一,充压检漏法;二:真空检漏法。
①充压检漏法:指在被检件内部充入一定压力的示漏物质,如果被检件上有漏孔,示漏物质从漏孔漏出,用一定的方法或仪器在被检件外部检测出漏孔漏出的示漏物质的方法。主要有升压法、听音法、气泡法等。
②真空检漏法:指将管道和检漏器的敏感元件处于真空状态,在管道的外部施加示漏物质,如果有漏孔,示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元素空间,由敏感元件检测出示漏物质的方法。主要有真空计法、静态升压法、氦质谱检漏仪法。
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真空设备检漏
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氦气质谱分析仪:该方法就是在负压法的基础上,采用质谱仪来进行检漏,其连接方式有多种,根据实际的使用,对为通用和检漏本Di的方式进行说明,该方法可以对漏点进行位置的确定和泄漏量的判断。
其工作原理为:开始主要由真空系统对腔体进行抽真空,当真空度达到检漏仪起测点后,开启检漏仪,检漏仪本身也是一组由小型分子泵和机械泵组成的真空系统,其开启后也参与腔体的抽气工作,此时,检测人员,就可以采用氦气对腔体中所有接口及焊缝进行吹气,如果有漏点存在,当氦气经过此位置时,就会有少量的氦气随同空气进入腔体,再由真空管路抽走,此时,会有少量的氦气进入检漏仪中,检漏仪内部的氦气质谱仪,就会检测到氦气的存在,通过报警器发出报警,提示检测人员在此位置附近存在泄漏点。由于,氦气的密度小,在大气中其会向上飘散,故此,在吹气检测时,应从设备上部开始吹气,以便漏点的位置确定。在进行双层夹套的检漏时,可以将夹套作为***的腔体进行单独抽真空检漏,实现对内外壁的一次性检测。由于目前检漏仪技术足以做到使真空系统的漏气量远小于系统的放气量,因此真空系统所需要的真空泵的大小主要取决于真空系统所使用的材料放气率的大小。所以,针对不同类型的内胆材料需要真空泵的抽速也会不尽相同。
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真空泵
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干泵国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。
水环泵水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2×105Pa表压力。水环泵初用作自吸水泵,而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医yao及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等,水环泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展,水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的,故可抽除气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,因此,水环泵应用日益增多。如图:在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入 深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外。
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