真空泵真空设备检漏维修

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检漏工作的实施

　　只要正确的做好检漏范围的预判和正确连接好检漏仪后就具备了检漏的前提，应当按照如下步骤进行查、检漏工作：

　　①正常启动电弧炉真空系统，当炉室达到稳定的中真空度后，通常在10 Pa 以下，打开检漏仪开始进行工作；

　　②按照先高后低、先近后远的顺序依次对炉室各个点进行喷氦，针对真空自耗电弧炉而言合理的检漏路线应当依次是电极杆动密封处———观察孔玻璃处———炉头法兰———坩埚法兰———真空检测排———真空管道———真空挡板阀———大、小罗茨。

　　③外部无法喷氦检漏部位的检查。外部不易喷氦检查到的部位主要有：a. 电弧炉支撑杆动密封；b.气动卡头密封；c.坩埚底垫密封；d.真空炉室内隔层焊缝处的渗漏；e. 气动真空挡板阀内部盖板密封。

　　a和b的***需要制作专用电极杆端头盲板，将电极杆下部的紫铜导电法兰拆下并将制作好的带有密封圈的盲板用螺栓固定在原导电法兰处，重新抽空并对炉室测压升率，如果压升率显著下降则可以证明是此处导致漏气。

　　c 主要靠替代更换法，重新装配另外一组坩埚进行压升率对比试验的方法。

　　d 需要采用隔层内部喷氦打压的方式，将电弧炉水排上所有的出水阀门全部关闭并关闭除炉室进水阀外的其他进水阀门，在水排进口对炉

　　室隔层进行喷氦打压，将压力充到0.1MPa 后，重复检漏仪的检漏操作，如果隔层渗气，气体将进入炉室被检漏仪检测。

　　e 通过开、停泵检测压升率的方式检测。如果挡板阀内部盖板漏气，则在阀门关闭的情况下，停止系统真空泵工作和不停止的情况下压升率会有较明显的变化。

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真空设备检漏

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检漏方法的分类

按被检容器所处的状态可分为两大类，真空设备检漏，即加压检漏法和真空检漏法。

(1)加压检漏法。在被检容器内充入一定压力的气体(称试验气体或者探漏气体)或液体，当容器上存在漏孔时，气体(或液体)便从漏孔中逸出，真空设备检漏报价，从哪里逸出，逸出量的多少等，就可判断有无漏孔存在、漏孔位置和大小。属于此类检漏方法有:

水压法:将清洁的水压入被检容器中，一般水压在2~3个大气压左右，观察容器外壁有无水珠出现，根据水珠出现的位置大小和快慢，来确定漏孔位置和估计漏气量的大小。

气压法:将试验气体(空气或其他气体)压入被检容器，在外面检查有无气体逸出，具体方法有:声响、火焰、气泡指示法(水槽法、皂膜法);氨检漏法;卤素检漏仪和氨质谱仪吸嘴法和放she性同位素法。其中卤素检漏法是，金属铂在高温(常用850~950℃)下产生正离子发射(主要是碱金属离子)，这种发射遇到卤素气体时急剧增加，依据这个现象可以制成一种检漏仪器，即卤素检漏仪。

铂的离子发射现象被设置在一个探头中，探头是一支二极电子管结构，加热丝、阳极及不锈钢阴极组成一间热式二极管，后部安装吸气风扇，使用时不断吸进气体，工作时二极管的阳极由灯丝加热到850~950℃，阴极对阳极加有250V负电压并收集正离子，离子电流由电子电路放大后，用仪表指示，考虑到检漏时无暇观察仪表指示，真空设备检漏哪里有，仪表还设有扬声器，当探

出漏孔时，仪器便发出声音。

示漏气体多用氯的卤化物，如氟利昂、氯fang、四LV化碳等，其中以氟利昂无du、不可燃、蒸汽压力高、灵敏度高被广泛应用。检漏时，卤素气体充于被检件内，用外探头在外部

寻找漏孔。这种方法可检出10-9 Pa·m3/s的漏孔，工业产品一般为10-6~10-7Pa·m3/s。

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2XZ-0.5旋片真空泵

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2XZ系列真空泵为双级直联结构，它的工作性能由高压级与低压级二部分组成，它的吸入口与真空设备连接，在运转时容器内的气体将大量吸入与排出，当设备获得真空时，高压级排气阀封闭，高压级吸入的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出，这样真空设备可获得一定的真空，该泵的技术参数为6×10-2，泵与电机连轴，高转速，外型小，结构紧凑，流动性工作方便，我公司特采用金属刮片，适用于扩散泵的前级泵，精密仪器的配套与实验室，、食品包装，真空设备检漏厂家，电子等单位使用。

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