氦质谱检漏仪

1.智能化：以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。

2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。

3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节0点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜择功能，一个按钮即可完成全检漏过程。

4.全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

5.检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。

氦质谱检漏仪

待机时电离室真空度保持在≤3x10-2Pa，灯丝不易被氧化脆断。在检漏过程中，当出现意外情况，系统突然暴露大气或真空度突然降低，导致大量的气体突然进入电离室，真空度≥1x10-1Pa时，灯丝电流急剧增大，灯丝被碳化，就发生了脆断现象。

氦质谱检漏仪灯丝寿命如何延长？有前面分析已知，造成氦质谱检漏仪灯丝脆断的原因：1.真空度低；2.灯丝电流过大；3.对灯丝***的气体气压太高（氧化性气体、水蒸气、氢气）。那么，在使用中尽量避免灯丝在上述恶劣环境下长时间开启，或者说尽量提高灯丝的上述使用条件就可以有效延长氦质谱检漏仪的灯丝寿命。如：1.使用中尽量将预置真空开关空挡；2.避免电离室泄入***气体（氧化性气体、水蒸气、氢气）。

氦质谱检漏法的应用领域

氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无***性，使其广泛应用。主要领域和产品如下：

原子能工业——气体扩散处理系统、容器；

高能物理研究院——及其配件；

电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；

电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；

航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；

仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等；

空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；

真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；

冶金——真空电炉；

低温与压力容器——液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器；

轻工产品——保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。

这些部门的产品要求一定的密封性，其中，有的产品的泄漏会危害产品或工作过程，还有些产品泄漏会造成物质的流失，严重的会危害操作人员的生命健康。

安徽诺益科技有限公司是一家***从事氦质谱检漏仪、氦检漏真空箱、回收系统和差压气密性检漏仪的研发、生产及销售为一体的***型高科技创新型企业。公司自成立以来，以“积极乐观、勇于担当、不轻然诺，精益求精”的企业精神，一步一个脚印发展成为中国同类企业中经营范围广、在行业内颇具影响力的企业。

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