氦检漏设备泄漏检测方法

防止泄漏可以被定义为在一个外壁的意外裂缝，洞或孔隙或关节，其中必须包含或排除不同的液体和气体允许逸入或者逸出封闭空间。在封闭系统中的关键泄漏点通常是连接的垫片，密封圈，密封胶，法兰，焊接和钎焊接头，材料缺陷等密封测试通常的质量控制必须确保设备的完整性，并应该优选一个一次性的非***性测试，而对环境和操作人员的影响也比较小。

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氧捡漏介绍

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真空计检漏　根据相对真空计（热导真空计和电离真空计等）的读数检漏的方法。真空计的工作压力范围就是检漏适用的压力范围。检漏时在处喷吹示漏气体氢、氧、二氧化碳、或用棉花涂以。示漏气体进入系统后会引起真空计读数的突然变化。热导真空计可检漏率为10-3帕·升/秒的漏孔;电离真空计可检漏率为10-4～10-5帕·升/秒的漏孔。卤素检漏仪检漏　图2为卤素检漏仪的原理。铂阳极筒和不锈钢阴极筒构成一个间热式二极规管。当加热丝将铂阳极加热到 1027～1223K时，铂发出的正离子在负电场下到达阴极形成电流。在卤素气体的催化作用下，正离子的发射急剧增加。卤素检漏仪就是利用这样的效应制成的。检漏时将规管接到系统中，并将系统抽到9～2帕真空，有喷枪把卤素气体(常用氟利昂R12)喷向被检零部件表面处，引起离子流值急剧增加处即是漏孔位置。或与此相反将高于大气压力的卤素气体压入系统内，探测枪在被检零部件外表移动，卤素气体逸出处引起离子流值急剧增加，此处即为漏孔位置。用这种方法可检漏率为10-3～10-4帕·升/秒的漏气。氦质谱检漏　很常用的一种检漏法。用氦气作为示漏气体，以磁偏转质谱计作为检漏工具，工作原理与真空质谱计相同，差别仅在于氦质谱检漏仪使用的磁场和加速电压基本上是固定的，因为它只检测氦离子。另外，为了提高离子流的输出，适当牺牲分辨能力以降低对测量放大器的要求，所以这种检漏仪具有结构简单、灵敏度高、性能稳定、操作方便等优点。氦质谱检漏仪的结构如图所示。氦质谱检漏仪的主要技术指标有：①灵敏度，又称可检漏率，氦质谱检漏仪生产厂家，单位为帕·米3/秒；②反应时间与清除时间，单位为秒；③工作压强与极限压强，单位为帕。

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充气开关柜检漏设备

由于工件内外压差不能大于0.04Mpa，抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压，如果压力差超过设定值，则抽速较快的泵自动停止，等压力差达到规定要求时，泵自动运行，直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。系统同时具有自我诊断与报警功能，显示各种故障信息。

电气系统同时具有自我效准、连锁保护和报警功能，以及急停按钮，确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。为了保证工件的安全，系统中采用压力和真空传感器同时使用的方式，以防止传感器失效而对系统造成的伤害。

结构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统，分散与集中控制相结合，层次分明、成本低廉、维护方便。上位机采用工控机，用于向PID发布指令、系统运行状态集中管理。

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