氦检漏设备的工艺流程

A1:安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测;

B1:若A1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止;

B2:若A1检测通过，放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空模式，微漏检测;

C1:若B2检测不通过，则系统报警-----循环检，小漏工件序号显示------检测程序中止;

C2:若B2检测通过，真空箱内充入大气，同时工件内氦气回收-------真空箱开门，检测完成。

真空检漏

真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。

漏率的大小需进行校准后方能确定。一般采用比较法，即将被检漏孔与标准漏孔在检漏仪上进行比较，就可得出被检漏孔的漏率。 检测真空系统或其零部件的漏孔的方法。对一定的容器进行足够长时间的抽气后，容器压力不再变化，这时的抽气量必定与容器的漏气量和放气量之和相等，即puSe=qL q0，式中pu为容器的极限压力，Se为容器排气口处的有效抽气速率，qL和q0分别为容器的漏气量和放气量。如放气量少到可以不计，则平衡式变为puSe=qL，或pu=qL/Se。这说明容器的极限压力由漏气量与有效抽气速率的比值决定。如抽气速率一定(常数)，要得到低的极限压力便应降低漏气量，检漏便是关键的措施。

漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器内外的压力差会使气体通过漏孔从容器的一侧通向大气侧。漏孔一般很微小，实际上不能测出漏孔的具体大小，所以漏孔大小都用漏率(在规定的条件下气体流过漏孔的流量)来表示。漏孔两侧存在着压力差，即可利用气体流动引起的效应来检漏。为便于检漏和易于检测出漏孔的位置，一般尽可能缩小检测的面积范围，所以先侧重于对零部件的检漏。零部件经过严格的检漏，组装后就可避免漏气。

真空检漏中三通的应用

深圳锐诚真空***生产、销售氦检漏设备，我们为您分析该产品的以下信息。

氦质谱检漏仪进行检漏工作中，经常用到真空三通，真空三通作为一种管道配件，它可用于管道的分支和汇合。通俗得讲，就是能将一条管道里的水进行分流，让它分为两条水流，也能将两条管道的水流汇集在一起，变成一条水流。

真空三通不易腐蚀，拥有良好的抗冲击性、抗冻性强而且抗老化，所以使用寿命很长，可达60年之久。此外真空三通质量轻而且连接方便，再加上它阻力少耐磨性强，在工程中使用可以节省大量成本，而且环保。真空三通适合于阀芯直径大的场合,尤其是制作通流量较大的中低压三通旋塞。在船舶甲板机械等通流量大的中低压液压系统中，真空三通也被广泛使用。

真空三通多用直接在钢管上接出支管，先在钢管上用开孔机和开孔，再将机械三通卡几个在孔洞，孔四周由密封圈沿管壁密封，真空三通用在直接在钢管上接出支管。

首先在钢管上用开孔机开孔，后将机械三通卡入孔洞，孔四周由密封圈沿管壁密封，机械三通分丝接与沟槽式两种：正真空三通指支管与主管成90度的三通。

真空三通用在直接在钢管接出支管。首先钢管用开孔机开孔，后将机械三通卡入孔洞，孔四周由密封圈沿管壁密封。机械三通分丝接与沟槽式两种，正三通指的是支管和主管成90度的三通。

氦质谱检漏仪的不同测量方法满足多种需求

氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口，性能稳定可靠。秀长的体积，优越的性能，适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理,采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术，实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换,具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。

氦质谱检漏仪特点：

1.检测时间和响应周期非常短，可以达到2s以内；

2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；

3.多种大漏保护模式，充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击；

4.大漏检测功能：可通过预设压力，抽空时，达不到预设值，检漏仪自动报警提示。

5.多种计量单位选择，检测数据实时更新，直接输出生成Excel表格。