干式真空泵
深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳,在北京、浙江设有******。是一家专门从事各种真空应用设备制造,集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品:真空设备,检漏仪,微水仪,lng抽真空系统,非标真空设备,真空标准件以及真空设备的维护***。
真空检漏设备真空检漏设备
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干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有ji溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
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真空设备检漏
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真空检漏设备真空检漏设备
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干式涡旋泵
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真空检漏设备真空检漏设备
产品特点◆ 全无油泵,不会污染真空系统
◆ 采用***马达与轴承的密封设计
◆ 体积小巧:351x181x140mm
◆ 与老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的极限压强
◆ 无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件
◆ 低噪声,低振动
性能特点◆工作状态下泵体发热低
◆马达功率不到200瓦,低功耗
◆内置出气阀门有效降低工作噪声
◆出气口位置可以动,以便更好地适应空间要求
◆高压区间抽速高,确保迅速进入真空状态
◆重量轻,配有把手,易于携带
◆内置故障保护隔离阀保证真空系统的安全
◆配有自动气镇阀以有效排空水蒸气
◆维护简便,只需定期更换密封圈即可
技术特点◆独有的TriScrollTM***结构设计
◆具有轴承吹扫功能,保护轴承不被工艺气体或粉尘污染
◆高可靠性
◆具有自动气镇口
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