真空检漏设备
作者:锐诚真空2020/9/26 17:16:25
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视频作者:深圳锐诚真空技术有限公司





干式真空泵

深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳,在北京、浙江设有******。是一家专门从事各种真空应用设备制造,集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品:真空设备,检漏仪,微水仪,lng抽真空系统,非标真空设备,真空标准件以及真空设备的维护***。

真空检漏设备真空检漏设备

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干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有ji溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

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真空设备检漏

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干式涡旋泵

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真空检漏设备真空检漏设备

产品特点◆ 全无油泵,不会污染真空系统

  ◆ 采用***马达与轴承的密封设计

  ◆ 体积小巧:351x181x140mm

  ◆ 与老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的极限压强

  ◆ 无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件

  ◆ 低噪声,低振动

  性能特点◆工作状态下泵体发热低

  ◆马达功率不到200瓦,低功耗

  ◆内置出气阀门有效降低工作噪声

  ◆出气口位置可以动,以便更好地适应空间要求

  ◆高压区间抽速高,确保迅速进入真空状态

  ◆重量轻,配有把手,易于携带

  ◆内置故障保护隔离阀保证真空系统的安全

  ◆配有自动气镇阀以有效排空水蒸气

  ◆维护简便,只需定期更换密封圈即可

  技术特点◆独有的TriScrollTM***结构设计

  ◆具有轴承吹扫功能,保护轴承不被工艺气体或粉尘污染

  ◆高可靠性

  ◆具有自动气镇口


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