检漏仪公司服务为先,深圳锐诚真空公司
作者:锐诚真空2020/9/9 10:41:38
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视频作者:深圳锐诚真空技术有限公司







用氦气作为氦质谱检漏气体的原

选择示漏气体(示踪气体)的原则是:它在空气中及真空系统中的含量低;检漏仪对示漏气体的灵敏度高;它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患;价格低。

质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体,主要原因如下:

1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少(在空气中约含5.2ppm),在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。

2、氦的质量小(相对分子质量为4),易于穿过漏孔。这样,氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。

3、氦是惰性气体,不与被检件器壁起化学反应,不会污染被检件,使用安全。

4、在氦两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6),质荷比都与氦相差较大。这样,它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开,定标找氦峰时,不易受其他离子的干扰,因此就降低了对分析器制造精度的要求,易于加工。同时,分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过,提高了仪器灵敏度。

5、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏,提高了仪器的检漏效率。

6.氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好,然而由于氢一方面有易1爆***,另一方面在油扩散泵中,由于油受热裂解会产生大量的碳和氢,使氢本底极高且波动大,以致灵敏度大大降低,所以很少采用。

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高压开关检漏——氦质谱检漏仪

高压电器行业提出的《生产63kv及以上GCB与GIS的必备条件》提出了产品符合技术条件和安全性。高压开关设备使用SF6气体作为绝缘灭弧的介质,产品要求开关内部的SF6气体泄漏量要小,也就是要很好的密封性。所以再生产过程中就要对部件以及出厂整机做检漏,高压电器采用的氦质谱检漏仪的氦质谱法比较方便,易操作,检漏效果也得到认同。

卤素检漏仪检漏是过去常用的方法,由于灵敏度低,难免发生泄漏和误检,使总装后的产品气密性达不到要求,导致返工,不但浪费了人力物力,也耽搁了生产周期。由于采用了氦质谱检漏仪弥补了传统检漏的不做,同时可以检漏漏点和漏率。

氦质谱检漏仪的检漏方法根据被检工件的情况而定的:

1.对于容积较小的部件,如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等,采用氦罩法被检工件抽空,检漏仪调到漏率(10-11Pa.m3/s),然后对氦罩冲氦,同时观察漏率显示,一大增大,就说明工件不合格。

2.对于体积较大的工件,采用背压发,按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦(含量30%)-氮混合气体,然后放入检漏罐中。先用辅助抽空系统抽至5Pa以下,关掉抽气阀,打开检漏阀,进行检漏。漏率超过值即为不合格。

3.对于分装或总装,采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体,利用吸枪在被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。

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氦质谱检漏仪灯丝脆断故障

检漏技术在我国经济中占有非常重要的地位,被广泛应用于半导体、原子能、电力、航空、航天、、制冷、真空、汽车等行业。

氦质谱检漏法与泡检漏法、压强衰减法和卤素检漏法相比,除检漏原理不同以外,还具有监测灵敏度高,速度快、适用范围广,探索气体***性、无***性、质量轻等优点,是诸多检漏法中有效的方法。

氦质谱检漏仪在使用过程中,常见的故障就是灯丝脆断,氦质谱检漏仪灯丝多采用钨铼合金丝制作。因为纯钨丝高温使用发生再结晶以后变得很脆,再受到冲击或震动时极易断裂。原因是钨常在晶界面上孕育出微裂纹,这些微裂纹的扩展极易造成钨的碎断。而钨铼合金在变形过程中易形成孪晶,减少了堆垛层位错能量,降低位错移动的晶界阻抗,从而使位错迁移率增加,促使了钨的固溶软化,此现象称为“莱塑化效应”。该效应降低了氦质谱检漏仪灯丝在高温下的断裂的风险,铼浓度高时的塑化效应降低。

钨铼丝具有高熔点,高强度、高硬度、高塑性、高的再结晶温度、高电阻率、低蒸汽压、低电子逸出功和低的塑性脆性转变温度等优点。但钨铼丝制作的灯丝极易氧化,在真空、惰性气体中可以保持很长的使用寿命,但在氧化性气氛中容易被碳化,降低其灵敏性并引发脆断,在有氢气存在的情况下,会加速碳化。

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