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作者:锐诚真空2020/9/8 2:29:38
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视频作者:深圳锐诚真空技术有限公司







几种检漏方法和检漏仪的比较发

1.水检法

这是***简单的、原始的检漏方法,自行车胎就是采用此种方法。它是将被检工作充上大于大气压的空气。1.0-3.0Mpa)放人水中是否有气泡从工件中冒出来,冒泡的位置就是***的位置,而根据冒泡的速率,泡的速率,泡的大小,大约可估漏率。

2.卤素法

先前一般的制冷器都采用卤化物为冷媒,当灌注冷媒封口以后,用卤素检漏仪的探头在司疑之外寻找漏点,发现漏点就会声光报警,漏点和漏率也就相对确定了。




用氦气作为氦质谱检漏气体的原

选择示漏气体(示踪气体)的原则是:它在空气中及真空系统中的含量低;检漏仪对示漏气体的灵敏度高;它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患;价格低。

质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体,主要原因如下:

1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少(在空气中约含5.2ppm),在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。

2、氦的质量小(相对分子质量为4),易于穿过漏孔。这样,氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。

3、氦是惰性气体,不与被检件器壁起化学反应,不会污染被检件,使用安全。

4、在氦两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6),质荷比都与氦相差较大。这样,它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开,定标找氦峰时,不易受其他离子的干扰,因此就降低了对分析器制造精度的要求,易于加工。同时,分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过,提高了仪器灵敏度。

5、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏,提高了仪器的检漏效率。

6.氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好,然而由于氢一方面有易1爆***,另一方面在油扩散泵中,由于油受热裂解会产生大量的碳和氢,使氢本底极高且波动大,以致灵敏度大大降低,所以很少采用。

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氦质谱检漏法的应用领域

氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无***性,使其广泛应用。主要领域和产品如下:

原子能工业——气体扩散处理系统、容器;

高能物理研究院——及其配件;

电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统;

电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路;

航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等;

仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等;

空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等;

真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统;

冶金——真空电炉;

低温与压力容器——液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器;

轻工产品——保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。

这些部门的产品要求一定的密封性,其中,有的产品的泄漏会危害产品或工作过程,还有些产品泄漏会造成物质的流失,严重的会危害操作人员的生命健康。

安徽诺益科技有限公司是一家***从事氦质谱检漏仪、氦检漏真空箱、回收系统和差压气密性检漏仪的研发、生产及销售为一体的***型高科技创新型企业。公司自成立以来,以“积极乐观、勇于担当、不轻然诺,精益求精”的企业精神,一步一个脚印发展成为中国同类企业中经营范围广、在行业内颇具影响力的企业。

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氦质谱检漏仪的不同测量方法满足多种需


氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口,性能稳定可靠。秀长的体积,优越的性能,适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理,采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术,实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换,具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。

氦质谱检漏仪特点:

1.检测时间和响应周期非常短,可以达到2s以内;

2.检测的介质比较常用,仅需压缩空气即可;

3.多种大漏保护模式,充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击;

4.大漏检测功能:可通过预设压力,抽空时,达不到预设值,检漏仪自动报警提示。

5.多种计量单位选择,检测数据实时更新,直接输出生成Excel表格。

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