真空设备氦检漏
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真空检漏设备真空检漏设备
氦分子在质谱检漏仪器高真空的环境中扩散的速度很高,用氦气作示漏气体其本底噪声低,分子质量及粘滞系数小,因而极易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体是无***性、无du、无***,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有氦质谱检漏仪(调整到仅对氦起反应的工作状态)的被检容器上,若容器某一部位有漏孔,则氦质谱检漏仪立即有所反应,从而可知漏孔所在位置及检测漏气量大小。
泄漏和密封是相对而言的,氦质谱检漏仪检测被检容器的泄漏程度的量化一般用漏率来表示,真空检漏设备公司,其计算方法原理如下:
漏率的定义:Q1=Δp×VΔt[1]。
式中:Δp为压强的变化量;V为容器的体积;Δt为时间的变化量。
因此漏率可简单理解为:单位时间内,单位体积容器,压强的变化。
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真空设备检漏
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氦质谱检漏仪是以氦气作为示漏气体,真空检漏设备,对真空设备及密封器件的微小漏隙进行***、定量和定性检测的专用检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便,检测迅速等特点,是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器,其测量工作原理如下。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计,用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子。质量分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同,在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,在设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙,真空检漏设备生产厂家,打在收集器上。收集放大器收集氦离子流并送入到电流放大器,通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。
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真空泵工作原理
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真空泵的工作原理 一、2X型旋片式真空泵?简称旋片泵?工作压强范围为101325~1.33×10-2?Pa?属于低真空泵。它可以单独使用?也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、电子、化工、轻工、石油等生产和科研部门。 旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体?若附有气镇装置?还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的?对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。 旋片泵是真空技术中基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级?就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的?以获得较高的真空度。 旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下?在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1?Pa?下?其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。
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