高压开关检漏——氦质谱检漏仪

高压电器行业提出的《生产63kv及以上GCB与GIS的必备条件》提出了产品符合技术条件和安全性。高压开关设备使用SF6气体作为绝缘灭弧的介质，产品要求开关内部的SF6气体泄漏量要小，也就是要很好的密封性。所以再生产过程中就要对部件以及出厂整机做检漏，高压电器采用的氦质谱检漏仪的氦质谱法比较方便，易操作，检漏效果也得到认同。

卤素检漏仪检漏是过去常用的方法，由于灵敏度低，难免发生泄漏和误检，使总装后的产品气密性达不到要求，导致返工，不但浪费了人力物力，也耽搁了生产周期。由于采用了氦质谱检漏仪弥补了传统检漏的不做，同时可以检漏漏点和漏率。

氦质谱检漏仪的检漏方法根据被检工件的情况而定的：

1.对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦，同时观察漏率显示，一大增大，就说明工件不合格。

2.对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦（含量30%）-氮混合气体，然后放入检漏罐中。先用辅助抽空系统抽至5Pa以下，关掉抽气阀，打开检漏阀，进行检漏。漏率超过值即为不合格。

3.对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体，利用吸枪在被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。

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氦检漏设备的注意事项

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1.设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。

2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。

3.因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上， 由近而远的顺序进行。

4.检漏过程中，如发现大量氦气进谱检漏仪，应立即移去吸枪，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。

氦气检测方法

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1 氦气测量精度较高。

在室温和大气压力下，氦是无色、无味的气体，是人类发现临界温度的物质。氦是单原子气体，化学性质不活泼。氦气一般不生成化合物，在低压放电管中受激发可形成He 2、HeH等离子及分子，广泛应用于、科研、石化、制冷、、半导体、管道检漏、超导实验、金属制造、深海潜水、焊接、光电子产品生产等。由于氦气是惰性气体，因此不会腐蚀设备。应用氦气质谱检测仪，能够将检测合格及不合格的铝合金车轮自动区分到不同的地方，使轮胎的质量风险降低，防止微小漏气造成的安全隐患。

2 降低人工成本。

由于氦气气密检测设备是全自动操作设备，既不需要人工搬运铝合金车轮，也不需要操作人员目不转睛地观察，实现自动化，使得人工成本得到降低。

3 .大大提升检测效率。

正常情况下，每班次能够检测铝合金车轮1300只，每年就可以检测140多万只铝合金车轮，而传统的气泡检测设备每班次只能检测300只，每年检测30多万只。由此可见，应用氦气检测方法，能够使检测效率得到大大提升。

质谱法基本原理

质谱,又称质谱法（mass spectrometry,MS），是通过不同的离子化方式，将试样（原子或分子）转化为运动的气态离子，并按照质荷比（m/z）大小进行分离检测的分析方法，是一种与光谱并列的谱学方法。根据质谱图上峰的位置和相对强度大小，质谱可对无机物、有机物和生物大分子进行定性和定量分析。Thomson JJ于1906年发明质谱，并运用于发现非性同位素和无机元素分析。20世纪40年代以后开始用于有机物分析。Thomson JJ于1906年发明质谱，并运用于发现非性同位素和无机元素分析。20世纪40年代以后开始用于有机物分析。80年代初期，快原子轰击电离的应用，是质谱更好的运用于生***学大分子。90年代以来，随着电喷雾电离和基质辅助激光解吸电离的应用，已形成生物质谱学一新学科[1]。目前，质谱法已经日益广泛的应用于原子能、化学、电子、冶金、、食品、陶瓷等工业生产部门，农业科学研究部门，以及物理、电子与离子物理、同位素地质学、有机化学等科学技术领域[2]。

质谱法的基本原理是试样分子或原子在离子源中发生电离，生成各种类型带电粒子或离子，经加速电场的作用获得动能形成离子束；进入质量分析仪，在其中再利用带电粒子在电场或磁场中运动轨迹的差异，将不同质荷比的离子按空间位置或时间的不同而分离开；然后到达离子将离子流转变为电信号，得到质谱图。

质谱仪基本结构，化合物的质谱是由质谱仪测得的。质谱仪是使分析试样离子化并按质荷比大小进行分离、检测和记录的仪器。一般质谱仪由进样系统，离子源，质量分析仪，离子及信号放大记录系统组成