用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患；价格低。

质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：

1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

2、氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

3、氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。

4、在氦两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。

5、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

6.氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有易1爆***，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。

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氦检漏设备的工艺流程

A1:安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测;

B1:若A1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止;

B2:若A1检测通过，放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空模式，微漏检测;

C1:若B2检测不通过，则系统报警-----循环检，小漏工件序号显示------检测程序中止;

C2:若B2检测通过，真空箱内充入大气，同时工件内氦气回收-------真空箱开门，检测完成。

如何使用检漏仪对新能源电池包泄漏进行检测

以下内容由深圳锐诚真空为您提供，希望对同行业的朋友有所帮助。

新能源电池包泄漏检测的难点分析：

1、电池包自身笨重，不易搬动；

2、产品内部空间大；

3、铁壳较薄，充大压力气压容易变形；

4、浸到水下检测费力、费时、大漏存在 进水风险、人为主观判断难保证质量、 小漏很难检出、不符合TS16949要求。

二、新能源电池包泄漏检测解决方案及原理

1、工厂压缩空气接到检漏仪内部；

2、由检漏仪将0.4～1.2MPa的压缩空气压力调节成 对应IPX7防水标准的9.8～12KPa压力（但因电池包外壳很 薄、面积很大，由公式F=PS可得知如果充这个压力时，电 池包极易变形，所以根据实际经验，可以充4～6KPa压力， 这里比如是5KPa)；

3、通过检漏仪往电池包180秒内充到5KPa的气压，并关 断充气源，经稳压100秒，测试100秒后，看泄漏量是不是 在标准内（标准待定），如果是，说明产品合格，如果大 于该值说明产品不合格。（注：由于电池包是密封的，气 压下降的原因就是气压从它的内部漏到了外部），实际测试时，还有一种大漏的产品，就是在180秒内充不到5KPa的 产品，也是不合格品。