用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患；价格低。

质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：

1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

2、氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

3、氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。

4、在氦两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。

5、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

6.氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有易1爆***，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。

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氦检漏设备的注意事项

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1.设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。

2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。

3.因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上， 由近而远的顺序进行。

4.检漏过程中，如发现大量氦气进谱检漏仪，应立即移去吸枪，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。

如何选择真空检漏仪

一．对检漏方法的一般要求

1.检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；

2.反应时间短，可以提高工作效率；

3.能***、定量，即不经能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；

4.能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；

5.稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度稳定可靠；

6.所用“示踪气体”在空气中含量低，***，不腐蚀零件；

7.检漏范围大，从大漏孔到小漏孔都能检测到，以减少检漏设备的数量和费用；

8.检漏时洁净无油，满足一些特殊的要求

二．选择真空检漏仪检漏方法的原则

1.主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合，为找到一个单个漏孔，所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1-2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11w,而必须选用的检漏仪灵敏度为10-12∽10-13W；

2.根据具体被检对象，所用方法简便易行，经济实用。

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