氦质谱检漏原理

深圳锐诚真空***生产、销售氦检漏设备，我们为您分析该产品的以下信息。

氦质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体氦气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，用于检漏的一种检测技术，氦检漏设备，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15Pam3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，氦检漏设备价格，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，氦气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室中将气体电离，这些离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力作用下发生偏转，由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性，偏转半径各不相同，在挡板的作用下，氦检漏设备***，氦检漏仪的收集板只允许带正电的氦离子被接收到，单位时间到达收集板的氦离子对应于一个电流信号，这个电流信号正比于进入到达收集板氦离子的数量，电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上，其大小反映了泄漏点的漏率，通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。

氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气，是因为氦气具有以下优良特性：

①氦气在空气中的含量少，体积含量为5.24×10-6，如果氦气在环境中的含量超过标准，可以比较容易地探测到极微量的氦气；

②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除；

③氦离子荷质比小，易于进行质谱分析；

④氦气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备；

⑤氦气***，不凝结，极难容于水。

氦质谱检漏仪的日常***与维护

以下是深圳锐诚真空为您一起分享的内容，深圳锐诚真空***生产氦检漏设备，欢迎新老客户莅临。

质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、***定量准确等优点而被广泛应用，但是在长时间的使用过程中常常会出现一些故障和现象，从而影响设备的正常使用。

检漏仪的故障和处理

1 内部的泄漏

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点，更换密封件。

2 本底信号不稳定

1）本底信号过高有可能是环境本底被污染，注意检查室内是否有氦气源在泄漏。将室内的门窗打开通风，降低环境本底。

2）本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时，质谱室极易被污染，需返厂进行清洗，本底信号不稳定，检查电源电压是否稳定，检漏仪应有可靠的接地。

3）本底信号不稳定，检查泵油是否浑浊，被污染。

3 设备的分子泵不启动

分子泵不启动，主要有检查供电和前级真空是否正常（较常见的是前级真空机械泵故障或没有打开造成的分子泵无法启动）。或者是分子泵本身因振动和粉尘污染造成的损坏。

4 设备的质谱室不能正常工作

质谱室主要是灯丝无法正常加电，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。

5 前级机械泵工作不正常

主要经常观察泵油的颜色是否正常，粉尘的污染会使油色变黑，水汽会使油色呈现乳白色，都将导致机械泵工作不正常。另外过低的温度会使机械泵油粘稠度增加无法启动，过高的温度也会使机械泵产生热保停止工作，使用机械泵的环境温度在 10至 40之间使用。

检漏仪的***注意事项

1.如果仪器不是每天使用，建议每周开机检查一下，使仪器高真空系统保持真空，缩短仪器使用时的开机时间

2.拆卸仪器部件（如离子源）后，安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。

3.适时对仪器可能出现的泄漏处（如放气阀等）进行自身检漏，发现漏点后要及时取下清洗或固紧，以免在检漏时干扰检漏工作。

4.检漏仪维修每隔一段时间***油泵。（散热口灰尘处理，和泵油的检查更换）

5.禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上，尤其是进气口中，由于氦检漏仪为高精度精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师，才能使用此仪器。

6.使用时，注意观察仪器的运行情况，一旦发现问题（如较大振动、高噪音等），仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源，并排除故障。