PECVD石墨舟设计质量放心可靠 石金科技石墨制品
作者:石金科技2020/10/16 9:43:58








对炉头内外墙中间填充石墨粉的地方要用长铁棍插入其中并很好搅动,因为在通电过程中,常有小部份石墨粉被氧化。搅动后,可使石墨粉中的空隙减少,以后再补充适量的石墨粉。对炉头内外墙也要检查有无裂缝,外墙的裂缝可抹以耐火泥,内墙的裂缝则用石墨扮调成浆仔细抹上。导电电极靠炉内侧的端部表面产生的金刚砂要用铲子铲掉,然后抹上一层石墨浆。




正常的镀舟可以满足工艺正常生产需要,镀舟不足会造成生产时工艺的化学反应被石舟吸收造成硅片镀膜不良,形成四周红片。假如镀舟过度,“吃的太饱”就容易造成硅片的四周发白。

因为我们的舟片是镂空的,硅片的四周是同舟片相接触的,从而造成四周的生长速率加快,形成片子四周发白(偏白)此点建议从镀舟工艺上调整。

如果正常生产到一定次数偏白请及时调整工艺。红片加时间,白片减时间。

其它原因:具体情况待交流分析




石墨制品加工已愈来愈被各个工业部门所利用,石墨制品的市场是远大而广泛的,同时石墨制品加工将不断超越。

石墨制品加工过程中,焙烧炉排放的废气里含有沥青焦油,沥青焦油燃烧产生沥青烟,沥青烟障碍人的呼吸,危害人类的健康。这些废气在国内外治理方法主要采用电捕法、干吸法和焚烧法三种,北方电碳石墨模具厂家将治理方法分述如下:

电捕法:利用高压静电捕集焦油,在和沉淀极之间施加直流高电压,使得负极放电,烟气电离,生成大量正负离子在向负极移动的过程中与焦油雾滴相遇,并使之带电,雾滴被电极吸引,从而被除去。



石墨电级经有机化学环氧树脂或无机物环氧树脂预浸后,具备耐蚀性好、传热性好、透水性低的特性。这类预浸石墨也称之为不透性石墨,广泛运用于石油炼制、石油化工、化学工艺、强酸强碱生产制造、人造纤维、造纸工业等产业部门,它能够节约许多不锈钢板和别的金属材料材料。不透性石墨的生产制造已变成碳工业生产的一个关键支系。石墨耐磨损材料能够在腐蚀物质中工作中,溫度为-200至2000摄氏,而且在沒有润滑脂的状况下为非常高的拖动速率(达到一百米/秒)工作中,因而,很多运输腐蚀物质的制冷压缩机和泵普遍应用石墨材料做成的发动机活塞、密封圈和滚动轴承,她们不用润滑液。


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