深圳市石金科技股份有限公司***石墨热场厂家深度解析真空电阻炉石墨热场

热场是真空电阻炉的核心部分，它的好坏直接影响到炉子的性能及其运营成本。大多数真空电阻炉的石墨热场主要包括四个主要部分：加热器以及连接部件、隔热部件（或者反射屏）、热场支撑部件、工件承载陆床。热场的主要有方形和圆形之分。其它影响出产的要素还包含，吃水线和喷水式饮水口被污染或堵塞，歧管渗漏，因为漏水或冷凝形成的铁锈和腐蚀等。这些真空电阻炉组件大多采用高纯度石墨来进行加工制作。

由于石墨件在热场中所起的作用各不相同，对其所用的材质也必然会有所不同。通常电极、连杆、加热器、加热器螺丝、石墨坩埚、导流筒、导流筒支撑环、保温筒，这些部件都应选用等静压生产的细结构高强度的石墨材料来加工，这样才能满足生产的实际需要。

在单晶硅的生产中常常会发现石墨件的使用寿命往往比预计的寿命要短的多，由于过多地更换石墨器件增加了石墨煅烧的次数和电能的消耗，除增加了企业生产成本的同时还制约了产能的有效发挥。

石墨模具球化***粗大不均、球化不完善，***有网状、带状和链状碳化物，这将使石墨模具在淬火后易产生裂纹，造成石墨模具报废。

(1)产生原因

1)石墨模具钢材料原始***存在严重碳化物偏析。

2)锻造工艺不佳，如锻造加热温度过高、变形量小、停锻温度高、锻后冷却速度缓慢等，使锻造***粗大并有网状、带状及链状碳化物存在，使球化退火时难以消除。

3)球化退火工艺不佳，如退火温度过高或过低，等温退火时间短等，可造成球化退火***不均或球化不良。