电子式水平仪是用来丈量的工具机，如NC车床、铣床、切削加工机、三次元量床等床面，其灵敏度十分高，若以丈量时可左右偏移25刻度计算，丈量工件只在必定的歪斜范围内均可丈量，电子水平仪的主要原理有电感式和电容式等两种。

依据丈量方向不同还可分为一维和二维电子水平仪，电子水平仪的丈量部分主要由壳体、测微装置和电极水泡式传感器组成，电子水泡式传感器与一般水平仪的水准器的效果相似，但结构不同。

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使用水平仪时，要保证水平仪工作面和工件表面的清洁，以防止脏物影响测量的准确性，测量水平面时，在同一个测量位置上，应将水平仪调过相反的方向再进行测量，当移动水平仪时，不允许水平仪工作面与工件表面发生摩擦，应该提起来放置。

测量大型零件的垂直度时，用水平仪粗调基准表面到水平，分别在基准表面和被测表面上用水平仪分段逐步测量并用图解法确定基准方位，然后求出被测表面相对于基准的垂直度误差。

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精密钢直尺水平仪它可用作各种机床，半导体相关设备，检测设备等各轴的直线度检测，它可以在每个轴的装配调整期间用作直线参考，它可以用作机器零件的检测主机，产品表面是精密研磨材料，精度方面只是一方面，精度平面是从两端不包括20mm的尺寸。

精密直角水平尺它可以用作各种机床，半导体相关设备，检测设备等各轴的正交检测的主轴，在组装和调整X-Y轴时，它可以用作直角参考，可以用作机器零件的检测主机，使用的表面是精密研磨材料，精度平面仅适用于外角使用。