早期的超精密机床坐标测量系统采用激光干涉测量方式。激光干涉测量是一种的标准几何量测量基准，但是易受环境因素（气压、湿度、温度、气流扰动等）影响。这类因素容易影响刀具控制，从而影响工件的表面加工质量。为此，美国LLNL的LODTM坐标激光测量回路采用了真空隔离和零温度系数的殷钢坐标测量框架技术。这也是激光坐标测量方面的应用。广州数控加工定制服务***。

现今的超精密机床坐标测量系统大多采用衍射光栅。光栅测量系统稳定性高，分辨率可达纳米级。为了进一步获得较高的位置控制特性和表面加工质量，采用DSP细分，测量系统分辨率可达A°级。为了实现光学级的确定性超精密加工，机床必须具有纳米级重复***精度的刀具运动控制品质。伺服传动、驱动系统需消除一切非线性因素，特别是具有非线性特性的运动机构摩擦等效应。因此，采用气浮、液浮等方式应用于轴承、导轨、平衡机构成了必然的选择。广州数控加工定制服务***。

一台THM6350卧式加工中心，采用FANUC0i-MA数控系统。一次在铣削汽轮机叶片的过程中，突然发现Z轴进给异常，造成至少1mm的切削误差量（Z向过切）。调查中了解到：故障是突然发生的。机床在点动、MDI操作方式下各轴运行正常，且回参考点正常；无任何报警提示，电气控制部分硬故障的可能性排除。分析认为，主要应对以下几方面逐一进行检查。广州数控加工定制服务***。

检查机床精度异常时正运行的加工程序段，特别是刀具长度补偿、加工坐标系（G54～G59）的校对及计算。在点动方式下，反复运动Z轴，经过视、触、听对其运动状态诊断，发现Z向运动声音异常，特别是快速点动，噪声更加明显。由此判断，机械方面可能存在隐患。检查机床Z轴精度。用手脉发生器移动Z轴，（将手脉倍率定为1×100的挡位，即每变化一步，电机进给0.1mm），配合百分表观察Z轴的运动情况。在单向运动精度保持正常后作为起始点的正向运动，手脉每变化一步，机床Z轴运动的实际距离d=d1=d2=d3…=0.1mm，说明电机运行良好，***精度良好。广州数控加工定制服务***。